TiN覆盖层和Co/Ti/Si三元固相反应改善超薄CoSi_2高温稳定性

本文研究不同金属薄膜结构形成的超薄ＣｏＳｉ２膜的高温稳定性．采用离子束溅射和反应磁控溅射技术制备Ｃｏ／Ｓｉ、ＴｉＮ／Ｃｏ／Ｓｉ、Ｃｏ／Ｔｉ／Ｓｉ、ＴｉＮ／Ｃｏ／Ｔｉ／Ｓｉ不同结构，在高纯氮气下进行快速热退火（ＲＴＡ），形成ＣｏＳｉ２薄膜．应用四探针薄层电阻测试、扫描电子显微镜（ＳＥＭ）、透射电子显微镜（ＴＥＭ）进行测试．实验结果表明：ＴｉＮ覆盖层和Ｃｏ／Ｔｉ／Ｓｉ三元固相反应都是有利于形成具有良好高温稳定特性的ＣｏＳｉ２薄膜的有效方法，有望应用于深亚微米接触和互连技术中．     

用二次离子质谱和扩展电阻探针技术测量硅中注入硼的深度分布及扩展电阻探针技术分辨率的估算

利用二次离子质谱和扩展电阻探针技术测量了硅中注入硼的深度分布.在适当的测量深度,用扩展电阻探针技术测得的结果对二次离子质谱技术测量的结果进行了标定,从而得到硅片中硼原子的深度分布.用近似模型估算了扩展电阻探针针尖半径对测试分辨率的影响.若探针针尖半径为r0,测量斜面的角度为ξ,在用扩展电阻探针技术测量载流子浓度的深度分布时,可以近似认为深度分辨率为7.86r0sinξ.还定性讨论了样品表面耗尽层对扩展电阻探针技术的影响.     

聚焦离子束诱发金属有机化学气相淀积碳-铂薄膜

通过一系列实验,对聚焦离子束诱发MOCVD的成膜机理进行了研究,给出了淀积速率同离子束流等参数之间关系的理论模型.发现随着离子束流的增大,薄膜淀积速率增大,但并非完全线性增加,薄膜中的C/Pt比例也随之变化,薄膜电阻率则随之降低,最后趋向恒定.研究结果对实际工作中的工艺参数选取和薄膜电学性质的改进都有一定价值.     

扫描隧道显微镜

1引言 1982年,IBM的G.Binning和H.ROhrer发明了扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope:STM).这一发明标志着人类进入了直接观察原子、操纵原子的新时代,标志着在原子和分子水平根据人们的意愿设计、修饰、加工、创造新的物质结构与特性成为可能.两人因此于1986年荣获诺贝尔物理学奖.     

纳米结构Ag-TCNQ电双稳薄膜的制备及分析

采用真空蒸发和大气环境下后热处理的方法制备了纳米量级颗粒均匀的Ag-TCNQ薄膜。通过可见光范围透射谱、x射线衍射、原子力显微镜、傅里叶红外光谱以及x光电子谱等分析研究了薄膜的物理和化学性质，发现热处理可促使Ag和TCNQ发生充分的络合反应并减小薄膜的颗粒度，在此基础上利用STM实现了局城电双稳态的转变和纳米存储点的写入。     

用STM的纳米导电图形加工技术的研究

用STM针尖对有机络合物电双稳薄膜材料施加强电场作用 ,可在材料表面产生纳米线度的导电几何图形。实验证明 :对针尖本身的几何构形、施加在针尖上的脉冲幅度、周期和占空比都必须进行细致的选择。用Ag TCNQ络合物进行实验 ,在适合的针尖 样品距离下 ,发现所加脉冲偏压的极性为负时 ,容易进行加工     

透明导电IMO薄膜的载流子迁移率研究

采用van-der-Pauw法、等离子振荡波长法和光谱拟合法等三种方法对IMO(In2O3：Mo)薄膜和ITO(In2O3：Sn)薄膜的载流子迁移率进行了测量和比较。结果表明，IMO薄膜的载流子迁移率高达100cm^2V^-1s^-1以上，远超过已报导的其他掺杂透明导电氧化物（TCO）薄膜的载流子迁移率；IMO薄膜的载流子有效质量约为电子静止质量的0.35倍；IMO薄膜的高载流子迁移率主要是由载流子受到的散射作用较弱所引起。这无法用通常的掺杂TCO薄膜的载流子散射理论来解释，为此引入复合效应进行分析。在ITO薄膜中，每形成一个电中性复合粒子，就会使两个掺杂的Sn^4 失去贡献载流子的电活性；而在IMO薄膜中，即使一个掺杂Mo^6 与晶格间隙中的一个O^2-结合成复合离子后，该复合离子仍然会贡献出一个载流子，故薄膜中形成的电中性复合粒子数目较少，从而导致价态差为3的IMO薄膜中的电中性复合粒子对载流子的散射远低于价态差为1的ITO薄膜，因此，IMO薄膜有可能获得较高的载流子迁移率。     

增韧聚甲醛的研究

共聚甲醛和热塑性弹性体共混体系,当弹性体含量达到30%左右时,冲击韧性得到大大提高。力学性能和扫描电镜研究表明,体系为两相结构,增韧共聚甲醛的断裂面呈延性破坏。     

电化学合成聚噻吩结构的光谱和电子能谱表征

借助紫外-可见-近红外光谱,红外光谱,喇曼光谱等实验技术研究了电化学合成导电高分子聚噻吩(Polythiophene)材料在掺杂和非掺杂情况下的结构特征,说明了双极化子是这一类基态非简并的高分子的主要元激发。喇曼光谱和俄歇电子能谱还表征了掺杂离子在样品中的分布,掺杂离子处于高分子链的间隙中,且在深度分布上是均匀的。     

透射电子显微镜

1TEM的工作原理 透射电子显微镜(TEM)是一种现代综合性大型分析仪器,在现代科学、技术的研究、开发工作中被广泛地使用.