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基于纳米曝光要求和JSM-35CF型扫描电镜,设计了一组上下偏转器长度不一致的静电偏转器,使偏转灵敏度大大提高.采用二阶有限元法计算了八极静电偏转器的轴上场分布.高精度的场分布有利于高级像差.为了使系统的总体像差最小,结合具体电子光学系统,用最小二乘法对偏转器的激励强度、转角及其在系统中的位置进行优化,得到直至五级分量的像差.动态校正后,偏转场为80μm×80μm时,束斑分辨率约为3.2 am;偏转场大小为1 mm×1 mm时,束斑分辨率约为29.8 nm.结果表明,应用该组静电偏转器的电子光学系统的分辨率满足纳米曝光的要求. 相似文献
103.
不确定充电习惯对电动汽车充电负荷需求及充电负荷调节的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
采用二项分布描述电动汽车用户充电习惯的不确定性,本文建立了含有不确定性因素的充电负荷需求计算模型。基于此计算模型,分析了不确定性充电习惯、充电起始时间延时和充电功率对电动汽车充电负荷需求的影响;然后以配电网负荷方差最小为目标函数,以充电起始时间和充电功率为控制变量,考虑电动汽车充电功率约束和电动汽车用户充电能量需求约束,建立了基于不确定充电习惯的充电负荷优化调节模型。以北京市汽车行驶数据和典型配电网负荷数据为例,验证了本文所提充电负荷优化调节方法的优越性。 相似文献
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有源降噪技术主要基于声波干涉相消原理,因此初级声源和次级声源的声场传播特性及其声波相干作用导致的声场分布变化规律的研究对有源降噪的系统设计及次级声源的布局至关重要。在实验室进行变压器有源降噪实验时,通常采用扬声器来模拟变压器噪声,因此扬声器等效模型的选择很关键。等效为点声源模型简单方便,但误差较大。该文选取偶极声源模型作为扬声器的等效模型,并以实测特高压变压器噪声特性为基础,分别对扬声器等效为点声源模型和偶极声源模型的声场干涉特性进行仿真和实验验证。实验结果表明,偶极声源模型比点声源模型更符合扬声器实际的声辐射特性。 相似文献
106.
107.
为了给蒸发冷却技术在三峡机组上的应用提供可行的定子绕组矩形空心导线尺寸以及矩形空心导线和实心导线的搭配方案.从定子绕组附加铜损耗和极限带热能力两个角度说明了蒸发冷却方案的可行性.定子绕组附加铜损耗由计算得到,而矩形空心导线的极限带热能力即极限热负荷由实验获得.研究显示在保持目前西门子和ABB两个集团设计使用的三峡机组定子绕组的外形尺寸不变的基础上,将水内冷改为蒸发冷却都是可行的.但综合考虑冷却能力和电机的效率问题,在ABB的设计基础上改造的蒸发冷却方案使用内孔尺寸为2.5 mm×10.9 mm的铜制空心导线更为合理,而且电机具有至少10%的长期过负荷能力. 相似文献
108.
基于MATLAB的并联有源电力滤波系统的仿真研究 总被引:7,自引:0,他引:7
本文系统分析了有源电力滤波系统的工作原理 ,系统结构 ,控制方法等 ,并以MATLAB为仿真工具 ,对三相有源电力滤波系统进行建模及仿真分析。不同于传统的模拟滞环比较器 ,这里采用基于DSP软件控制的滞环比较方式控制补偿电流的产生 ,实现简单。在此基础上 ,着重分析输入电感 ,采样频率以及直流侧电压对补偿效果的影响。仿真结果表明 ,若参数选取适当 ,该系统具有较好的谐波补偿效果。 相似文献
109.
110.