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992.
993.
现代光刻技术 总被引:4,自引:0,他引:4
作为当前集成电路制造的主流技术,光学光刻在趋近其分辨力极限的同时,面临着越来越大的挑战,即便在波前工程和分辨力增强技术的帮助下,光学光刻的分辨力也难以满足快速发展的半导体产业的技术需求。接近式X射线光刻技术(XRL)、散射角限制电子束投影光刻技术(SCALPEL)、电子束直写光刻技术(EBDW)、极紫外线即软X射线投影光刻技术(EUVL)、离子投影光刻技术(IPL)等下一代光刻技术(NGL)将会在特征线宽为100-70nm的技术节点介入集成电路制造的主流技术中。从目前NGL技术发展的趋势和市场需求的多元化来看,竞争的结果很可能是各种NGL技术并存。当特征尺寸进入纳米尺度(≤100n/n)以后,最终只有那些原子级的成像技术才能成为胜者。 相似文献
994.
995.
固态金属材料以其高导电性和低成本等特点在柔性电子器件的制造中具有巨大的应用潜力,但现有熔融金属微制造工艺的制造精度有限。为了提高熔融金属在导电结构制备中的分辨率,研发了一种熔融金属电流体喷印直写打印方法。对该方法的基本原理进行阐述。利用自主研发的熔融金属电流体喷印喷头装置,以金属锡为原料进行实验,对打印工艺参数进行了研究。探究了脉冲峰值电压、喷嘴高度、打印速度对锡线成型质量的影响规律,研究结果表明:当脉冲峰值电压4.0 kV,喷嘴高度0.20 mm,打印速度2.0 mm/s时,锡线成型质量最好,能实现线宽约为50μm的锡线制备。最后,结合优化的工艺参数在聚酰亚胺(PI)薄膜上制作了高分辨率导电图案,验证了该方法的可行性,为熔融金属材料在柔性电子器件制造中的应用提供了新途径。 相似文献
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997.
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提出一种DCT图像信息隐藏的系数动态选择策略,并不固定系数的位置,而是对每一幅栽体图像都进行分析,找出最合适该图像的中频系数来隐藏信息.实验结果显示,系数动态选择策略能提高伪装图像的视觉效果,即透明性,同时也能降低误码率. 相似文献
999.
1000.
提出一种DCT图像信息隐藏的系数动态选择策略,并不固定系数的住置,而是对每一幅载体图像都进行分析,找出最合适该图像的中频系数来隐藏信息。实验结果显示,系数动态选择策略能提高伪装图像的视觉效果,即透明性,同时也能降低误码率。 相似文献