体硅热膜传感器单片集成工艺的研究

针对MEMS热膜式传感器的发展趋势和在实用化过程中存在的问题,提出了一种新型的单片电路和体硅MEMS热膜式传感器实现集成制造的嵌入式CMOS工艺技术,解决了MEMS制造工艺和CMOS集成电路工艺之间存在的兼容性问题。通过这种嵌入式CMOS工艺技术,可以实现具备最小体积、最低成本的MEMS器件。通过这种嵌入式热膜式传感器和CMOS处理电路的单片集成制造工艺,实现了一款热膜式传感器和IC放大电路的集成部件,并完成了相关基本电性能测试和传感器功能的演示验证,证明了设计的工艺路线的可行性。     

聚酰亚胺/银红外空芯波导的研制

设计并制备了一种新型的聚酰亚胺／银空芯波导，其实验工作的重点是聚酰亚胺薄膜的制备。采用改进的液相工艺，我们在石英毛细管内制备了表面光滑均一的银膜，然后，再将折射率非常接近理论最佳值（ ）的聚酞亚胺膜涂覆在银管内。通过控制聚酰亚胺膜的厚度，可以对银空芯波导在特定的波长处有降低损耗的作用。除了 ６～９μｍ处的基团吸收外，这种空芯波导在整个中红外区域的损耗都很小。在 １０．６μｍ波长处的损耗为０．４ ｄＢ／ｍ，传输能量为 １０ Ｗ时，可以稳定传输 ２０ ｍｉｎ以上，基本上可以满足 ＣＯ２激光在医疗中的应用。     

增强了处理和集成能力的WinCE 6．0

微软公司WindowsCE6测试版重新设计了内核架构，增强了并发处理能力并集成了新的工具集。系统内核支持从32个到32000个处理器的并发处理，每个处理器运行在2GB虚拟内存地址空间。Windows CE6兼容了上一代Windows CE的大部分特性和功能，允许设备制造商能够继续使用以前开发的客户界面、应用、中间件，以及驱动程序，而不增加成本。     

有机聚合物光波导延迟线研制的新进展

由于孔径效应和孔径渡越时间的限制,传统的相控阵雷达难以在大扫描角下实现大瞬时带宽,有机聚合物光波导延迟线可解决这一问题。先介绍了有机聚合物光波导延迟线的原理和优点,接着综述了三种延迟线：利用聚酰亚胺制成的4位有机聚合物光波导延迟线,多层结构的有机聚合物光波导延迟线,开关选择的超长有机聚合物光波导延迟线。     

光传送网中光开关器件的进展

随着波分复用技术的广泛应用和光联网的发展,光开关将成为组建未来光网络的关键器件。光开关的类型有光微电机械开关、马赫-曾德干涉仪型开关、热光效应光开关、液晶光开关、喷墨气泡光开关、光栅开关和声光开关等。文章概述了这些光开关的原理,并进而介绍了光开关器件的最新进展。     

低损耗高集成度氮化硅阵列波导光栅波分(解)复用器

氮化硅平台阵列波导光栅(AWG)波分(解)复用器具有损耗低、集成度高、温度敏感性低等优势。基于联合微电子中心有限责任公司(CUMEC)的氮化硅集成光子工艺平台,从波导传输损耗、阵列波导与平板波导模式转换损耗、截断损耗、泄漏损耗等方面对氮化硅基AWG波光(解)复用器插入损耗进行了优化,并采用标准CMOS工艺完成低损耗C波段AWG密集波分(解)复用器制备。该氮化硅基AWG密集波分(解)复用器输出通道数为16,输出通道频率间隔200 GHz。测试结果表明,该AWG波分(解)复用器的平均插入损耗为2.34 dB,1 dB带宽为0.44 nm,3 dB带宽为0.76 nm,串扰约为-28 dB。芯片尺寸为850μm×1700μm,较平面光波导(PLC)基AWG大大减小。     

基于同一外延层结构的10Gb/s单片集成光发射模块

利用同一外延层集成工艺方法制作了10Gb/s电吸收调制器/分布反馈(DFB)半导体激光器单片集成光发射模块.在器件中引入增益耦合机制以提高单模成品率,并采用感应耦合等离子体干法刻蚀技术以降低调制器电容.集成器件阈值电流为12mA,在-2V偏置时的消光比为15dB,器件的小信号调制带宽超过10GHz.在10Gb/s调制速率下经过35km单模光纤传输后,误码率为10-12时的功率代价小于1dB.     

一种新型微波光子器件--多量子阱光-微波转换器的设计构想

最近十年,微波光子领域的研究在世界范围内吸引了越来越多的兴趣,作为微波光子器件系列的光-微波转换器,扮演了重要的角色。本文提出了一种新型的多量子阱超宽带光-微波变换器的设计构想,介绍了其结构、功能并进行了分析。     

一种基于微环的新型4×4非阻塞光路由开关

光互连技术因诸多特性优于电互连而成为片上多核互连最具前景的解决方案。为了提高片上光互连网络架构的性能,采取光器件模块搭建的方法,提出了一种基于微环的新型4×4光路由开关,仅用7个微环构建的拓扑结构便实现了4个双向端口的非阻塞交换,降低了功耗和面积;波导交叉的数量减少到6个,优化了插入损耗。结果表明,该结构相对于经典结构光器件的功耗节省了约8%,光互连层的插入损耗降低了约7%。     

查询自动生成器在Web数据库发现中的应用

为了帮助用户获得一个统一的访问途径来自动地获取利用自由分布在整个万维网上的Deep Web中丰富的信息.Deep Web数据集成受到了越来越多的关注,这其中也包含若干问题急待解决.提出了在Deep Web数据集成领域中解决Web数据库的发现的一种试探性方法,并模拟了该方法的使用场景,介绍了它采用的学习方法.