FSI国际推出采用其MAGELLAN浸泡式清洗系统的新型氮化硅选择性蚀刻工艺

FSI国际有限公司日前宣布，推山全新的选择性氮化物蚀刻工艺。该工艺采用FSI国际的MAGELLAN浸泡式清洗系统，可以抑制氧化硅和硅的侵蚀并避免产生大量微粒。这些应用在FSI实验室中通过使用客户的晶圆得以开发和验证，并已成为先进的45nm工艺项目的一部分。此外，这些应用对前几代技术同样有效。     

现代结构陶瓷的类别与性能（Ⅴ）

氮化物陶瓷 最常用的氮化物陶瓷为氮化硅和氮化硼。氮化硅陶瓷具有很高的硬度，有自润滑作用，摩擦系数小，耐磨性好，抗氧化能力强，抗热振性大大高于其他陶瓷的。它具有优良的化学稳定性，能耐除氢氟酸以外的其他酸性和碱性溶液的腐蚀，以及抗熔融有色金属的侵蚀。它还具有优良的绝缘性能及低的热膨胀性。其中，由热压烧结法制成的氮化硅陶瓷的强度、韧性都高，主要用于制造形状简单、精度要求不高的零件，如切削刀具、高温轴承等。由反应烧结法制成的氮化硅陶瓷工艺性好，硬度较低，用于制造形状复杂、精度要求高的零件以及用于要求耐磨、耐热、绝缘等场合，如泵密封环、热电偶保护套、高温轴承、增压器转子、缸套、活塞环、电磁泵管道和阀门等。氮化硅陶瓷还是制造新型陶瓷发动机的重要材料。     

催化裂化柴油氮化物的络合萃取

用９５％乙醇和微量萃取剂（水溶性Ｌｅｗｉｓ酸）组成的复合溶剂对催化裂化柴油络合萃取以脱除其中的氮化物。结果表明，采用剂油比０．２，催化裂化柴油经络合萃取之后，氮化物特别是碱性氮化物可得到有效的脱除，柴油收率达９７％以上，溶剂可循环使用。对萃取所采用的工艺条件进行了试验研究。     

Ⅲ—Ⅴ族氮化物的研究进展

论述了Ⅲ－Ⅴ族氮化物半导体晶体生长、电导控制与发光器的最新进展，介绍氮化物半导体的研究现状，并讨论实现更高性能氮化物基器件需要解决的问题。     

氮气中球磨钨和钼的结构和热性能：研磨时间和气氛的影响

钨和钼的氮化物是很少研究的过渡金属氮化物。ｒ－Ｍｏ２Ｎ，δ－ＭｏＮ，β－Ｗ２Ｎ和δ－ＷＮ这些难熔固体具有工业上有用的性能，如极高的硬度和耐磨性。这些氮化物因性能的不同而分别用作包装材料、结构材料和催化剂。本研究检查了在掺有少量甲苯的氮中研磨（湿磨）的Ｗ和Ｍｏ的结构转变。试样研磨７０、１６０、２６０、６００和８５０小时，用Ｘ线衍射仪、ＴＥＭ、ＳＥＭ、ＤＳＣ、ＤＴＡ和ＴＧＡ进行分析。用ＴＧＡ和氧化分析     

碱性氮化物对润滑油催化降凝的影响

本文比较了润滑油馏分脱除碱性氮化物前后的催化降凝效果(采用择形分子筛崔化剂)。考察了碱性氮化物——吡啶、2,4-二甲基喹啉(DMQ)对已脱除碱性氮化物的润滑油馏分催化降凝的影响。结果表明:吡啶可使催化剂的降凝活性完全丧失,因而认为吡啶分子可进入分子筛孔道内部;DMQ对轻质润滑油馏分(其中的蜡主要由直链烷烃组成)降凝效果的影响不明显,因而认为它只能使催化剂外表面的活性中心失活,而不能进入分子筛孔道内部:润滑油馏分中的碱性氮化物对催化降凝效果的影响近似于DMQ。