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介绍了一种ＳＴＥＰＰＥＲ通用测试掩模（ＵＴＭ）的设计构成及各测试元素图形的作用。在此基础上，分析了电子束制作ＵＴＭ的误差，并阐述了ＵＴＭ的测试方法、数据处理及其对ＳＴＥＰＰＥＲ性能的影响。 相似文献
152.
以笔者所在工厂为背景,介绍军品研制过程中的测试技术现状及发展展望,同时,也在一定程度上反映出工厂在军品测试技术方面的落后状况,从而激发同行为军品测试技术的发展而努力。 相似文献
153.
154.
本文就国外对不锈钢钝化膜的性状的研究进展，如膜厚，膜的组成，膜的半导体性质和点缺陷的传送特性等加以综合叙述，并简要介绍研究不锈钢钝化膜的方法。 相似文献
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