光刻胶灰化工艺与深亚微米线条的制作

随着器件尺寸的缩小，细线条的制作成为很关键的工艺，普通光学光刻已接近其分辨率的极限，而电子束光刻和Ｘ射线光刻技术复杂、费用昂贵。本文对光刻胶灰化工艺进行了分析和研究，并应用此工艺进行了深亚微米线条的制作，在普通光学光刻机上制作出宽度小于０．２５μｍ细线条。我们已将此工艺成功地应用在深亚微米ＭＯＳＦＥＴ的制作中。     

新钢烧结40m2电除尘输灰系统改造

新钢烧结厂3#烧结机机尾、成品筛分系统的除尘由40m2电除尘器承担.该除尘器自投入运行以来,输灰系统一直存在着严重的二次扬尘问题,生产作业和周边环境十分恶劣.该厂对输灰系统几经改造,终于解决了二次扬尘问题.     

蒸馏加热炉综合性节能技术改造

应用LGH强化传热型燃烧器、ESW型激波吹灰器、HA-WA-Ⅱ型高温红外复合涂料等新设备、新材料,对南阳石蜡精细化工厂常减压蒸馏加热炉进行技术改造,炉热效率提高2个百分点以上,燃料消耗明显降低,节能效果显著。     

循环流化床密相区的热平衡

<正> 进入循环流化床锅炉密相区的燃料,其中只有一部分在该区燃烧并放出热量,这部分燃料放热称为燃烧份额δ.为了维持密相区的温度为确定值,应对密相区进入和支出的     

庙坡抽水站灰土井的施工设计

庙坡站是蒲城分干渠的首级站,基础为Ⅱ级自重湿陷性黄土。根据地基原位静力载荷试验与浸水载荷试验结果,修改了施工方案,节约投资,加快工期。     

黑龙江省农作物生物质能发电潜力及环境价值研究

根据2004~2012年黑龙江省农作物产量,计算农业废弃物类生物质能资源蕴藏量和能源可用量,对近年主要农作物生物质能源储量进行测度。采用GM(1,1)灰预测模型,对2013~2016年黑龙江省农业废弃物类生物质能源可用量进行预测,结果显示,以50%利用率计算,到2016年其可用量相当于30.728×106t标准煤。分析了农业废弃物类生物质能的发展潜力,将生物质能发电与燃煤发电环境成本进行对比,结果显示,到2016年黑龙江省利用生物质能发电节约的环境成本为123.728亿元,对环境保护起到了积极作用。     

肖特基势垒二极管SiO2-Si3N4复合钝化膜研究

对Si肖特基势垒二极管的钝化技术进行了研究。研究了不同淀积温度、气体流量、射频功率以及气体压力等工艺技术条件下,淀积PECVD SiO_2和LPCVD Si_3N_4膜的介电强度E、介电常数ε_r、耐压V、针孔密度、漏电流I、内应力σ、片间均匀性以及片内均匀性等性能。研究了PECVD SiO_2膜的增密技术。提出了一种应力小、漏电流小且抗辐照能力较好的PECVD SiO_2/LPCVD Si_3N_4复合介质膜钝化工艺方法和技术条件,提高了肖特基势垒二极管的性能。