不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析

改进传感器检测电容几何结构能有效改善传感器的性能。本文对梳齿电极结构、栅形电极结构及梳栅电极结构检测电容的性能特点进行分析比较,重点分析了振子质量、空气阻尼、系统阻尼系数比以及灵敏度等特性,得出在相同的外轮廓尺寸、支撑梁、振子厚度以及振子到衬底的距离的条件下,栅形结构传感器的振子质量最大,空气阻尼最小,适合制作高分辨率的传感器;在大气下,梳齿结构灵敏度增加的同时空气阻尼力也会增加,且振子质量较小,适合制作高灵敏度,低分辨率传感器结构;梳栅结构的特点居于两者之间,适合制作需要兼顾分辨率和灵敏度的传感器。通过实例计算,证明了该结果。     

梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响

分析了梳齿电容式传感器在三种电容驱动方式下,梳齿电容极板的不平行对传感器受到阶跃加速度信号作用时可靠工作条件的影响。得到了梳齿倾斜效应对传感器阶跃加速度响应影响的分析模型。结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下,若电容极板的倾斜角变到0.5°时,对于单边电容结构、双边电容结构和有力反馈的双边电容结构,传感器能够承受的临界阶跃加速度分别变为电容极板完全平行时的0.34、0.44、0.52。并针对DRIE工艺刻蚀梳齿的原理,讨论了改进梳齿不平行的方法。     

电容式传感器在车辆检测装置中的应用

一种采用抗干扰能力强、稳定性好、造价低廉的电容式传感器的车辆检测装置,它配合红外线装置,除具有电感式车辆检测装置的控制电动栏杆工作的功能外,还能准确统计经过车道的车流量,识别出车型和车辆的部分结构尺寸。     

电容式电压互感器的日常运行监视分析

针对电容式电压互感器可以实现分压的特点,结合实际运行中因电容式电压互感器(CVT)二次电压异常而发现的电容击穿情况,并依据工作中CVT二次电压幅值、机位和波形的运行情况,探讨了运行中CVT二次电压的监测及分析方法,提出了对CVT异常处理的一些方法及原则。     

变压器油色谱分析技术在电容式电压互感器故障分析中的应用

针对电容式电压互感器(CVT)运行中电磁单元出现的异常,通过对故障原因的分析,提出了通过变压器油色谱分析技术来解决此类问题的一种方法、手段。     

一起电容式电压互感器绝缘在线监测案例分析

电容式电压互感器(CVT)是变电站的重要设备,测量其介质损耗因素和电容量可以及时发现设备的绝缘缺陷。但是由于其特殊的绝缘结构,使得诊断变得更加复杂。针对这个问题,笔者通过一起CVT的案例,基于测量的原理和基本结构,分析了电容单元在出现故障时,介质损耗因素和电容量的在线监测数据明显变化,而离线测量介质损耗因素的数据基本不变。对电容量明显变化的原因,提出了相应的预防事故措施。同时,验证了在线监测CVT数据的可靠性和有效性。     

用电容式阵列传感器实现触觉的测量

介绍了电容式阵列触觉传感器的原理,设计了数据采集系统的结构及由单片机系统组成的触觉单元扫描电路。     

500kV电容式电压互感器介损超标原因分析及处理

广西500 kV来宾变电站500 kV沙来线原A相电容式电压互感器(CVT)下节电容分压器C13在预防性试验中发现介损(tanδ)超标,为查明原因,将其返厂试验.试验中,随着试验电压的升高,介损及电容量均出现明显变化,把额定电压下的介损值降低至符合10 kV下的要求时,电容量超过出厂值4.19%.通过计算及解剖,证实有5个电容已经击穿.该结果说明CVT电容击穿也会引起介损超标.     

达-丰线500 kV系统CVT的故障分析及处理

在达－丰线５００ｋＶ系统运行中４次因ＣＶＴ故障而停运,经过ＣＶＴ解体检查、试验分析,找出原因并进行处理。     

电容式电压互感器潜伏性故障发现及原因分析

电容式电压互感器(CVT)近年来在电力系统中已广泛使用,因CVT本身的结构、性能特点,在系统运行中带来一些新的课题需要研究.本文结合在定期试验中发现的电容式电压互感器存在介损超标等缺陷情况,从电容式电压互感器本身结构和工作原理出发,分析了产生缺陷的原因和带来的危害,通过解体检查验证了电容式电压互感器绝缘介质已经被击穿,证实了产品的制造工艺存在问题是缺陷产生的主要原因.