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李霖 《电子工业专用设备》2007,36(4):22-24
楔形误差补偿技术是双面光刻机中的关键技术之一,它使基片表面和掩模电路图形表面形成2个平行平面,提供给对准工作台进行对准操作。对涉及该技术的气浮轴承设计、小孔截流技术、材料的选择、加工及处理等作了详细的论述。 相似文献
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摘要:冷端管径(Dc)是影响涡流管性能的重要因素之一,基于12 MPa的高压节流工况,以CH4为计算工质,建立物理模型,改变Dc为36、38、40、42和44 mm。对比发现:随着Dc增大,冷端内旋气体温度逐渐下降,制冷效果提升;热端外旋气体温度先增加后下降,Dc=40 mm时制热效果最佳。反映出Dc与制冷效果呈正相关,但对制热效果存在最佳值。当Dc增大时,内旋气体总压下降幅度逐渐平缓,利于节流;在Dc≥40 mm时,外旋气体总压下降幅度变大,且变化不规律,节流时有损调节阀使用寿命。另外Dc=44 mm时,外旋气体速度变化规律异常。所以根据工况需求,可控制Dc尺寸来调节涡流管制冷制热效果。 相似文献