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GaAs器件工艺中等离子刻蚀及计算机辅助监控技术研究 总被引:2,自引:1,他引:1
陈正明 《固体电子学研究与进展》1994,14(2):182-185
用N2气和NF3反应气体,在较低的刻蚀功率下实现了用薄正性光刻胶AZ1518作掩模,均匀、快速刻蚀SiO2,SiON,Si3N4,WN,W等材料的等离子刻蚀技术。利用到蚀过程中射频参数的变化和计算机技术,将射频参数的变化在计算机屏幕上实时显示,实现了计算机辅助监控和终点检测技术。 相似文献
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本文介绍了“多功能图表处理与数据处理系统”的基本功能,该系统能处理所有炼油工艺计算图表。该系统以良好的计算机辅助设计CAD(Computer Aided Design)效果保证图表处理与数据处理的可靠性和准确性,能选取最佳样点,以较少的样点数实现精确的计算。 相似文献
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就水轮机调速器辅助功能的设计进行了探讨,提出宜于推广,具有实用价值的辅助功能,模拟电调,微机调速器辅助功能的完善与扩展,必要的显示和保护功能的设置。 相似文献
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CASE与MIS的开发 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍CASE技术的基本思想与构成,CASE工具在MIS开发中的作用,概要介绍国内流行的CASE产品并对其作出评述。 相似文献
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随着电力事业的发展。电力电缆被广泛应用到电力生产中去,电缆线路的电容量很大,大型的发电机组、变力变压器的电容量也很大。传统采用试变对它们进行工频交流耐压试验时,必须要提供大容量的试验变压器和试验电源,现场试验很难实现。变频串联谐振通过调节频率、串联电抗器使回路达到谐振状态,从而使变频电源输出很小的电压,在试品上获得很高的电压,大大的减少了试验电源的容量。变频控制器集调压、调频及保护功能为一体,电抗器采用多级或叠积式结构。便于现场试验。 相似文献
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叙述了非电量测量中调幅谐振法技术,提出在调幅谐振法中引入比较测量从而使灵敏度得到很大的提高。并从原理、数学推导以及简单的实验证明能提高灵敏度。 相似文献
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结合工程实际介绍了异步电机计算机辅助测试(CAT)系统的硬件、软件组成、技术方案确定以及设计原则。现场运行表明,该系统稳定可靠,且具有较高的性能价格比。 相似文献
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本文通过分析天津市电机总厂成组技术及计算机应用的现状,总结出存在问题,提出解决措施,阐明在当今生产发展形势下,积极推广成组技术,走系统开发道路的必要性和可能性。 相似文献