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Measurement Method of the Thickness Uniformity for Polymer Films 总被引:1,自引:0,他引:1
YANGHong-liang RENQuan FANYun-zheng 《半导体光子学与技术》2003,9(2):128-132
Several methods for investigating the thickness uniformity of polymer thin films are presented as well their measurement principles.A comparison of these experimental methods is given.The cylindrical lightwave feflection method is found to can obtain the thickness distribution along a certain direction.It is simple and suitable method to evaluate the film thickness uniformity. 相似文献
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本文在反射系数序列为非高斯、平稳和统计独立的随机过程,地震子波为非因果、混合相位的假设条件下,分别应用滑动平均(MA)和自回归滑动平均(ARMA)模型对地震记录进行建模,并采用运算代价较小的基于高阶累积量的线性化求解方法——累积量矩阵方程法进行了子波提取和模型适应性的研究。数值模拟结果和实际地震数据处理结果表明:自回归滑动平均(ARMA)模型比滑动平均(MA)模型具有参数节省、模型更为高效的特点;累积量矩阵方程法可以有效地压制加性高斯噪声,但对累积量样本估计的准确性要求较高;如果累积量样本估计的误差和方差适度,结合自回归滑动平均(ARMA)模型描述的累积量矩阵方程法可以高效、准确地估计出地震子波。 相似文献
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在双光束激光直写系统中,衍射光变图像的光刻是逐像素点进行的.本文提出在该系统中采用狭缝获得光栅线来进行衍射图形的直写,利用一种改进的矢量文件格式,使平台沿着垂直光栅线的方向运动,获得连续的多光点同时直写,直写后的衍射光栅线是连续的,系统的运行效率是逐点光刻的几十倍.编写了与DXF文件的接口直写控制程序,给出了实验结果. 相似文献
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传统的多载波调制都是采用对传输信道进行等带宽划分的方式。为了更好地适应信道传输特性,一个很有应用前景的发展方向是采用非等带宽划分信道的多载波调制方式。本文提出了一种利用正交小波包变换实现的非等带宽划分信道的多载波调制方法。理论分析和实验结果表明,这种方法对于提高信道的传输性能有很大的潜力。 相似文献
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低温高速离心泵的研制与应用 总被引:2,自引:0,他引:2
阐述了适合于输送低温介质的高速离心泵的水力设计和结构设计方法,结构上采有长,中,短叶片相间的复合叶轮及双密封结构,理论上采用以效率为目标函数的优化水力设计方法,保证了低温高速离心泵具有很好的工人可靠性和优越的性能指标。 相似文献
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一种基于小波逼近的稳定直接自适应控制算法 总被引:3,自引:0,他引:3
针对一类未知不稳定非线性系统,基于小波逼近理论,提出了一种直接自适应控制
算法,并由Lyapnov理论证明了整个控制闭环系统的稳定性. 相似文献