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21.
光刻胶灰化工艺与深亚微米线条的制作   总被引:5,自引:1,他引:4  
随着器件尺寸的缩小,细线条的制作成为很关键的工艺,普通光学光刻已接近其分辨率的极限,而电子束光刻和X射线光刻技术复杂、费用昂贵。本文对光刻胶灰化工艺进行了分析和研究,并应用此工艺进行了深亚微米线条的制作,在普通光学光刻机上制作出宽度小于0.25μm细线条。我们已将此工艺成功地应用在深亚微米MOSFET的制作中。  相似文献   
22.
激光扫描共焦荧光显微镜的电子控制系统研究   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
介绍了激光扫描共焦荧光显微镜的电子控制系统,为了提高激光扫描器的定位精度,在系统中提出采用基于闭环象素时钟发生器的检流计振镜所固有的扫描非线性失真补偿方案,减少输出图象的枕形畸变,实现行扫描空间位置的均匀性。在以细分梯形波电流驱动反应式步进电机情况下,根据实测θi曲线,用反插法求得与步进电机运行非均匀性相补偿的相电流波,从而获得在小电流情况下高角度均匀的步进电机细分运行特性。  相似文献   
23.
The causes of lightning outage are subdivided into direct lightning strokes and induced lightning strokes, which are identified by the characteristics of the lightning overvoltage. In the past, lightning protection devices were directed mainly toward the latter, and attention has been focused on the installation of lightning protection devices, ground wires, and reinforcement of insulators. However, lightning outages continue to occur. Thus it is extremely important to clarify the fault characteristics of lightning surges and to study the effectiveness of various lightning protection devices by considering both direct lightning stroke and induced lightning stroke in order to prevent lightning outage in the future. In this research, the electromagnetic transients program (EMTP) has been applied to the direct lightning stroke, and the induced lightning outage analysis program for multiple conductor systems has been applied to the induced lightning stroke to study the effectiveness of lightning protection devices provided by combination of various lightning protection devices. The most effective lightning protection schemes are analyzed and evaluated based on verification tests on the full scale models as well as economic considerations.  相似文献   
24.
谭民 《控制与决策》1994,9(4):266-270,300
本文对CIMS装配线和拆卸线的可靠性问题进行研究。文中分析了它们的运行状况,求出了两种生产线的稳态可用度,并用一个例子加以说明。  相似文献   
25.
可压缩体的滑移线场理论   总被引:1,自引:0,他引:1  
从理论上建立了可压缩体的滑移线场理论,并给出了解析实例。研究表明:在平面应变条件下,可压缩体内的两族滑移线不仅不正交,而且随着平均正应力的不同而变化;可压缩体的平面应变问题可以直接采用现有的致密体的滑移线场来求出。  相似文献   
26.
Results from applying the model on a sample of contractors, the majority of whom were international and operating in Egypt, reinforces the credibility of the developed methodology, claim the authors.  相似文献   
27.
疏松桂  谭民 《控制与决策》1994,9(6):451-454
本文利用等效工作站理论和工件流平衡原理,推导出非串行离散事件生产线可以等价于串联系统,并归结为装配和拆卸两条定理,解决了系统的建模、分析与设计问题。  相似文献   
28.
介绍了邯钢200万t链箅机-回转窑酸性氧化球团生产线的工艺特点和主要设备,以及建成投产后试生产的有关情况。通过周密的部署和安排,该生产线实现了40天快速达产的目标。  相似文献   
29.
Two important elements in problem solving are the abilities to encode relevant task features and to combine multiple actions to achieve the goal. The authors investigated these 2 elements in a task in which gorillas (Gorilla gorilla) and orangutans (Pongo pygmaeus) had to use a tool to retrieve an out-of-reach reward. Subjects were able to select tools of an appropriate length to reach the reward even when the position of the reward and tools were not simultaneously visible. When presented with tools that were too short to retrieve the reward, subjects were more likely to refuse to use them than when tools were the appropriate length. Subjects were proficient at using tools in sequence to retrieve the reward. (PsycINFO Database Record (c) 2010 APA, all rights reserved)  相似文献   
30.
中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀   总被引:2,自引:2,他引:0  
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。  相似文献   
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