半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法

半导体晶圆制造企业是资本密集、技术密集型产业,晶圆制造厂也是公认生产最为复杂的工厂之一。产品更新换代快、市场竞争激烈等特点使得投资者对设备产能和设备利用率高度重视。这已不仅仅是技术问题,而是生产制造过程管理的问题。本文介绍了半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法。     

数据转换系统中放大器的选择

随着广播电视技术的不断发展 ,模拟信号传输向数字信号传输的转换已成为必然。介绍模数转换系统中放大器的性能、关键技术 ,并就放大器的选择作详细探讨。     

关于不确定的对称组合系统的稳定化控制器与观测器的设计

本文研究了不确定的对称组合系统的稳定化控制器与观测器的设计问题，给出一种设计稳定化控制器与观测器的方法，在这种设计方法中，使给定的带有不确定性的对称组合系统稳定的状态反馈增益矩阵和观测器增益矩阵可由低阶代数Ｒｉｃｃａｔｉ方程的解导出。     

用线性状态观测器重构交流矢量控制系统中的负载扰动

在异步电动机磁场定向数学模型的基础上,给出了恒磁条件下异步电动机的解耦模型及传动系统的线性状态方程,并提出了重构负载扰动转矩的线性状态观测器。利用重构的负载转矩在矢量控制系统中进行扰动前馈,明显地提高了系统的抗负载扰动能力,从而为进一步提高矢量控制系统的动态性能开辟了一条有效的途径。     

Construction of a control system for disturbance rejection using a dual observer

A well‐known control system which can reduce the adverse effects of disturbances is a disturbance observer. However, in many cases of mechanical systems, system disturbances which do not satisfy the matching condition may be imposed. Therefore, it may be difficult to reduce the adverse effects of the disturbances by the traditional disturbance observer. In this paper, a method of control system synthesis for disturbance rejection using a dual observer is proposed. This method is based on the zeroing induced by the disturbance localization problem. This problem may be solved by dividing the state space into observable subspace and unobservable subspace. As compared with an H_∞ controller based on perfect observation, the usefulness of the proposed control system for disturbance rejection is demonstrated by numerical simulations for a two‐mass spring system. © 2002 Scripta Technica, Electr Eng Jpn, 138(4): 50–60, 2002; DOI 10.1002/eej.1138     

对投入与产出优化分析方法的应用探讨

介绍投入与产出优化分析的一些基本概念和计算方法 ,并结合实际 ,举例说明投入与产出的优化分析方法具体应用     

触摸输入技术探析

本文扼要概述触摸输入的４种技术，及其应用与性能比较。     

单站被动定位及光电实现

目的　光电技术实现的单站被动定位具有重要的军事价值 ,本文介绍了其原理、方法和发展 .方法　本文中 ,单站被动定位分为激光和红外两部分内容讨论 .结果　明确了采用激光和红外技术的单站被动定位工作原理和存在的技术难点 ,同时 ,指出了被动定位的研究动向 .结论　文章表明单站被动定位及光电实现值得进一步研究 .