清洗工艺在太阳能电池工业化生产中的应用

太阳能电池工业化生产中采用前清洗工艺,可以有效地去除硅片表面的机械损伤层,清除表面油污和金属杂质,形成起伏不平的绒面进而增加对太阳光的吸收,增加PN结面积,最终提高硅晶体太阳电池的光电转换效率。后清洗工艺可以有效地进行湿法刻蚀和去除在扩散过程中形成的PSG。     

HF气相刻蚀技术及其在MEMS加速度计中的应用

本文介绍了一种用于微结构干法释放的HF气相刻蚀技术。通过调节工艺参数(包括腔体压力,HF流量,乙醇流量,氮气流量)研究其对二氧化硅刻蚀速率和均匀性的影响,得到刻蚀速率在500魡/min左右,均匀性5%左右的工艺菜单。该技术运用于MEMS加速度计中,成功实现了梳齿结构和质量块的无粘连释放。     

页岩气:纳米级观测和气井建模

<正>页岩气在全球能源投资中扮演着日益重要的角色,对其预期促使人们加强对页岩气下伏基底气体采收机制的研究。本研究就是利用页岩储层样品孔隙度的分析来确定在气体流动模型中要使用到的临界参数,该模型用以评估气井生产数据。开发了一些3D成像技术来研究页岩孔隙结构的复杂性:从低分辨率的X射线计算机断层扫描技术(CT),到聚焦离子束和扫描电子显微镜(FIB/SEM)。在任何比例下都可观测到非均质性的情况。从(CT)数据中可发现裂缝、薄层和密度的不均匀。纳米级分辨率的FIB/SEM图像显示在体积     

杜仲水解液发酵可产丁酸

近日,中科院近代物理所科研人员利用兰州重离子加速器装置(HIRFL)提供的碳离子束非定向性辐照梭菌,筛选突变体与杜仲水解液融合发酵产生天然丁酸,此举填补了国内空白。据近代物理所研究员梁剑平介绍,丁酸是梭菌属代谢的一种产物,是重要的合成香料以及精细化工产品的原料,在香精、食品添加剂、医药等领域有广泛的应用。目前,丁酸大多由石油材料等工业合     

Information for Authors

NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES （NST）, a bimonthly journal, is devoted to all aspects of nuclear science and technology, theoretica subjects of synchrotron radiation science and or experimental. Its special interest lies in the technology; low energy accelerators, radiation technology and applications; radiochemistry, radiopharmaceuticals and nuclear medicine nuclear electronics and instrumentation; interdisciplinary studies of nuclear physics; nuclear heavy ion and atomic physics; and nuclear engineering.     

Theoretical Hypothesis of a Double Barrier Regarding the D-D Interaction in a Pd Lattice： A Possible Explanation of Cold Fusion Experiment Failures

During the past 15 years, disputable experimental evidence has built up for LERN （low energy nuclear reaction） phenomena in specialized heavy hydrogen systems. Actually, it can not be said that a new branch of science is beginning. In spite of experimental contributions, the real problem is that the theoretical statements of LERN are unknown. In this work, the authors analyze the deuteron-deuteron reactions within palladium lattice by means of the coherence theory of nuclear and condensed matter and, using this general theoretical framework accepted from ＂cold fusion scientists＂, it will be shown the low occurrence probability of fusion phenomena. In fact, in the coherence approach, the D-D potential exhibits double barrier features and, in this way, the D-D fusion is hampered.     

离子束刻蚀碲镉汞的沟槽深宽比改进

高深宽比离子束刻蚀技术是实现碲镉汞红外焦平面探测器的关键工艺技术.国内应用最广泛的双栅考夫曼刻蚀机束散角较大,沟槽深宽比较低.针对Ar离子束刻蚀机,尝试了三种提高深宽比的方法:选择不同的光刻胶做掩模、改变刻蚀角度和使用三栅离子源,并通过扫描电子显微镜(SEM)观察了碲镉汞刻蚀图形的剖面轮廓并计算了深宽比.分析了这些工艺方法对刻蚀图形轮廓的影响,获得了一些有助于获得高深宽比的离子束刻蚀沟槽的实验结果.     

单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究

设计了一种新的3D硅像素探测器的器件结构以简化制造工艺.该结构仅包含一种掺杂类型的柱状电极.通过工业级TCAD仿真对这种结构的电学特性进行了深入研究,阐述了它的技术优势及潜在缺陷.同时研究了制造这种3D硅像素探测器的特殊工艺流程和相关关键工艺,并给出了主要工艺结果.     

Ar/CO/NH3等离子体刻蚀多种磁性金属叠层

基于磁性合金的等离子体刻蚀工艺,在中国科学院微电子研究所自主研发的刻蚀设备中,使用Ar,CO和NH3的混合气体对用于形成磁随机存储器(MRAM)的多种磁性金属叠层进行刻蚀.采用两步刻蚀的方法刻蚀了多层磁性金属叠层,每一步的刻蚀气体组分不同,研究了Ar气在混合气体中的体积分数对材料刻蚀速率和侧壁形貌的影响.结果表明,刻蚀速率随着Ar气体积分数的增加而增加,而侧壁倾角则随着Ar气体积分数的增加而减小.两步刻蚀的方法可以根据材料的结构特点来控制Ar离子轰击的作用,可以得到大于21.4 nm/min的刻蚀速率和约90°的侧壁倾角.     

MEMS刻蚀工艺仿真模型及研究进展

随着计算机技术和微机电系统发展的需要,微加工刻蚀工艺的计算机模拟得到了飞速发展。综述了微加工刻蚀工艺的研究现状以及几种典型的工艺刻蚀仿真方法,分析了各种方法的优势和不足;重点介绍了在基于各向异性刻蚀方面应用广泛的元胞自动机法(CA),分析其优势所在,并阐述了CA模型的基本原理、发展变化和研究应用。