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1引言
大多数多晶硅太阳电池的减反射膜都是用增强的等离子化学气相沉积法(PECVD)沉积的掺氢氮化硅膜层(Sinx:H)。和其它减反射膜(如二氧化钛)相比,Sinx:H的优点是它具有很好的表面和体钝化功能。除了这些优点之外,PECVD技术有几个显著的缺点,主要是PECVD工艺使用爆炸性气体以及维护周期较短,同时PECVD技术在大面积在线镀膜时的膜厚均匀性也存在问题,这些问题使人们对采用不同的沉积技术产生了兴趣。由于对不同材料在大面积基片上采用溅射镀膜具有高产能、良好的均匀性和较长的维护周期等优势,因此溅射技术成为在太阳电池片上沉积Sinx:H膜层的较为理想的方式。 相似文献
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近十年来,我国光伏产业迅猛发展,带动了光伏组件使用的关键原材料—光伏镀膜玻璃产业规模持续发展壮大。介绍了光伏镀膜玻璃的行业发展概况,通过整理分析近4次光伏镀膜玻璃产品的国家监督抽查数据,分析行业共性产品质量问题,并给出解决建议。 相似文献
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视保屏减反射膜系的设计 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了几种视保屏减反射膜系的设计,并讨论了在实际生产中,膜厚的误差对减反性能所带来的影响。 相似文献
158.
激光减反射膜制备技术展望 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了激光减反射膜的需求,激光减反射膜的作用原理,溶胶-凝胶法技术4的发展历史,制备工艺以及性能测试,并对存在的问题作了简要说明。 相似文献