真实形体微粒形体分布函数的动态光学测量方法

主流的微粒粒度分布测量仪器的工作原理为光散射原理,在前向光散射式微粒粒度分布的测量理论中往往都是以球模型代替真实的微粒.但是在实际测量中由于微粒形体的变化往往影响测量结果的准确性.对此,本文在以Mie散射理论为原理,依据前向接收器接收的前向散射光信息以获取微粒大小信息的测量基础上,对微粒穿越光敏区时的时域与空域的特征以及相关性开展了研究,从数学上定义了微粒的形体分布函数,提出了一种依据光散射功率谱和频谱分布特征来获取微粒形体分布信息的方法,完善了微扰修正理论的应用性,有效地改善了形体的影响问题,从而可提高微粒粒度分布测量结果的准确性.     

干冰微粒喷射清洗技术

简要介绍了随着工艺节点的缩小,传统RCA清洗方法在硅片清洗工艺中的局限性和弊端,进而提出了以CO2为介质的新型干冰微粒喷射清洗方法。从CO2的物理特性出发,论述了CO2流经喷枪后形成干冰微粒的机理,并简要分析了干冰微粒喷射技术对颗粒污染物和有机污染物的清洗机理。在此基础上,介绍了自主研发的一台基于干冰微粒喷射技术的半导体清洗设备,对该设备的结构和各部分的作用作了简要介绍,论述了使用该设备对硅片进行清洗的工艺流程。通过对比实验发现,采用压强为8 MPa、纯度为5N的CO2作为气源,喷嘴前压强设置为11 MPa,使用该设备可以达到很好的清洗效果。     

入射光椭圆度对晶体微粒旋转角速度的影响

光致旋转技术在微机械和微生物等领域的应用越来越广泛。利用光束自旋角动量可以导致晶体微粒光致旋转的机理,从理论上分析了入射光椭圆度对晶体微粒旋转角速度的影响。通过MATLAB对不同激光功率下,光束的椭圆度与晶体微粒旋转角速度的关系进行数值模拟。结果表明:在实际对晶体微粒光致旋转操作中,晶体微粒能否旋转起来取决于光束椭圆度与微粒厚度之间的关系;在同一激光功率下,光束椭圆度与晶体微粒旋转角速度呈正旋曲线变化。因此,通过调节光束的椭圆度和较高的激光功率可以提高晶体微粒的旋转角速度。该结论对光驱动微机械马达的优化设计有一定的指导意义。     

阵列光镊的发展

介绍了光镊的原理及近年来发展起来的各种阵列光镊技术,探讨了阵列光镊技术在不同学科领域的应用.     

三种基于进化技术的优化算法及其对比

进化算法（EA）是模仿自然界生物进化或物种的社会行为而产生和发展的随机搜索方法，这种算法能够解决许多传统方法无法解决的大规模优化问题。本文简明介绍了三种基于进化的优化算法：遗传算法、蚁群优化算法和微粒群优化算法，并在原理、参数和应用方面对它们进行了对比。     

纳米微粒LB膜摩擦过程的电子探针分析

纳米摩擦学是９０年代国际上兴起的纳米科学技术的重要分支，是材料科学与摩擦学交叉领域最前沿的课题之一，是高新技术发展需要和推动的结果，对现代机械的发展具有重要意义。而以ＬＢ膜为代表的有序分子膜以其性能稳定、摩擦系数低、厚度可控等特点愈来愈受到纳米摩擦学...     

纳米氧化锌的制备及表征

以镀锌厂含铁锌渣和碳酸钠为原料,先后加入离子型和非离子型表面活性剂,在超声波搅拌的作用下,用化学沉淀法制得淡黄色纳米氧化锌粉体.用XRD,TEM,SBET等方法分别对产品的粒径、颗粒形状及晶形结构等进行检测.结果表明,所得产品为六角相氧化锌,平均粒径约25 nm,外观近似球形,分散性较好.     

离子注入中污染的产生及防护

本文概述了离子注入过程中污染产生的原因和防止污染的措施，特别强调了对微粒污染和金属污染的防护以满足ＵＬＳＩ加工对离子注入的要求。     

纳米微粒作为电池活性材料的前景

介绍了用溶胶凝胶法、微乳法、低热固相反应法制备纳米级电池活性材料——如MnO_2、Ni(OH)_2、Bi—MnO_2、LiCoO_2以及这些纳米材料的充放电性能。数据表明,一般来说这些纳米材料本身的放电容量并不比相应的常规粒径材料好,但若与常规粒径材料混合,则存在一个最佳混合配比,可大大提高其放电容量。因而纳米材料有可能成为有前景的电池活性材料。     

柴油机微粒捕集器再生技术研究综述

微粒捕集器是控制柴油机微粒排放最有效的手段,其最关健的技术是过滤材料和再生.文章在介绍过滤材料的基础上,系统阐述了主要再生技术的原理、特点及应用中存在的问题.最后简要分析了再生技术的控制策略和发展趋势.