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纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风,采用了硅微机械技术,且实现了麦克风电容两电极之间的自对准,大大提高了麦克风的生产效率,降低了成本.纹膜结构有降低和消除膜内应力的作用,而纹膜的三维结构使麦克风电容的有效面积有所增加,这些都显著地提高了麦克风的灵敏度,是该项新结构的关键.本文从理论和实验上对纹膜结构机械性能与结构尺寸参数之间的关系,及结构的优化进行了研究.通过对制作出的不同结构参数q值的麦克风的测试,得到了与初步理论分析基本相符的实验结果.实验证明,纹膜结构具有比相应的平膜结构高得多的机械灵敏度和麦克风 相似文献
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本文以微器件设计为对象,对微硅表面制造驱动的微器件并行设计方法学及相应的计算机辅助设计工具的开发逻辑进行了研究,提出了采用基于三层Web-ASP集成框架实现e-CAD原型工具的编程方案,其中,并行任务流管理与控制,微器件实例及设计资源库,微加工工艺规划及仿真,微器件设计评价等是该系统实现的关键要素,在此基础上将建立网上微器件设计中心,并通过应用服务机制,实现对微器件设计工具使用的商务化,以达到降低设计成本,加快MEMS产业化之目的。 相似文献
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濮城油田沙二下是一个被断层复杂化了的断块型油气藏,通过对储层的精细描述表明,各砂岩组顶面微构造发育,其成因有2种,与构造作用有关的微构造及与构造作用无关的微构造,前者规模较大,后者规模通常较小,根据微构造的起伏变化和形态,可分为3类:正向微构造,负向微构造,斜面微构造,正向微构造是油气富集与控制剩余油分布的重要微构造。 相似文献
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本文在旋涡流量计中采用MAX1403芯片进行温度、压力传感器的激励、信号放大和16位A/D转换,缩小了体积,提高了可靠性,满足了该流量计研制中低功耗、高精度的苛刻要求. 相似文献
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基于充放电原理实现的微电容测量电路 总被引:1,自引:0,他引:1
具有抗分布电容以及简单实用等特性的充放电电路是目前微电容测量中广泛采用的一种测量电路。本文对基于充放电原理的微电容测量电路进行了深入研究,并介绍一种基于充放电原理的实用电路。 相似文献
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