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为了保证上海光源X射线干涉光刻光束线的稳定性,减小热变形对实验结果的影响,对X射线干涉光刻光束线的3个关键光学元件——偏转镜、聚焦镜和精密四刀狭缝进行热-结构耦合分析。首先,计算偏转镜、聚焦镜和精密四刀狭缝所承载的功率密度;然后,建立其有限元模型;最后,获得光学元件的温度场和热变形的结果。结果表明,偏转镜和聚焦镜采用间接水冷方式可有效抑制热变形,冷却后的最大面形误差分别为7.2μrad和9.2μrad。精密四刀狭缝未冷却时,刀片组件温度介于271.56~273.27℃,刀口热变形为0.19 mm,直线导轨热变形为0.08 mm;经过铜辫子冷却后,刀片组件温度降至22.24~23.94℃,刀口热变形降至0.2μm,直线导轨热变形降至0.1μm;采用影像法和接触探头法测试后,刀口直线度、平行度和重复精度均满足技术要求。偏转镜、聚焦镜和精密四刀狭缝的热变形通过间接水冷和铜辫子的冷却方式可以得到很大程度的抑制,进而保证光斑质量。 相似文献
162.
《Planning》2015,(16)
微耕机、田园管理机等新型农机具的推广应用解决了山区、半山区、小面积地块区机械化耕作难的问题。剖析农户在生产过程中出现了作业事故的原因,探索出微耕机安全作业的五条建议。 相似文献
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164.
165.
以电视综艺节目微博为研究对象,通过分析电视综艺微博的特点、内容、平台及策略与收视率的关系,针对电视综艺微博在现阶段对电视节目的促进、宣传作用进行文案调查分析数据得出准确结果,认清传统电视综艺节目的微博互动的关系,不仅使传统媒体与新媒体融合过程中有了方向性,也对综艺节目的推广和发展有着实际意义。 相似文献
166.
矿山涌水量计算在矿山开采中具有重要意义。露天开采矿山常形成凹陷采坑,采坑内的充水来源主要包括大气降水和地下水两部分。对于大气降水,应分别考虑降落在采坑内的部分,以及其矿坑汇流范围内的地表径流量。大气降水还应考虑频率的因素。本文通过对多年的日最大降水量应进行频率分析,分别计算了5年、10年、20年、100年一遇等暴雨条件的涌水量。通过对矿区水文地质条件分析,本文采用大井法估算了地下水补给量,通过达西定律估算了河流侧渗补给量。 相似文献
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产自罗马尼亚品种为Dropia的小麦清洗后采用工业滚筒磨上的清洗设备进行清洗加工。通过考察不同设备从谷物中去除杂质总量来评价小麦清洗设备的清洗效果。采用组合清洗器和缩进分离器时杂质分离效率分别为83.42%和82.83%。通过清洗,灰分含量减少0.0225%,而破碎的麦粒为0.223%。对清洗设备的物理参数与杂质含量之间的相关性也进行了研究。结果表明,千粒重和杂质含量呈负相关性。 相似文献
169.
170.
针对不同跨度的梁板式楼盖及装配箱空心楼盖展开经济性分析,得出经济性最优跨度。选取7种常用的地下车库跨度(14~20 m),考虑楼盖自重及1.0 m上覆土层荷载,通过比较两种楼盖在不同跨度下的用钢量,得出经济跨度结论。 相似文献