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直流溅射中氮气分量对氮化锆薄膜性质的影响 总被引：1，自引：0，他引：1
用直流溅射方法制备氮化锆薄膜，其晶体结构，氮原子组分以及电阻率都与溅射气氛中氮气分量有直接关系。用X射线衍射分析薄膜结构，随氮气分量由5％至30％增加，玻璃衬底上的氮化锆薄膜首先呈(111)和(200)两主要生长取向；然后(200)取向逐渐消失，只有(111)单个优化生长取向；最后，没有衍射峰出现，薄膜趋于无定型结构。 相似文献
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采用离子氮化工艺提高热锻模使用寿命 总被引：2，自引：0，他引：2
热 锻模是在高温下通过冲击加压 ,强迫炽热金属成形的模具。工作时强大的压力和冲击载荷使坯料金属在模腔内流动 ,坯料金属与模腔表面产生剧烈摩擦 ,极易使模腔表面磨损 ;同时锻模要在不断反复冷却条件下工作 ,由于冷热交变的结果 ,模腔表面在交变应力作用下易产生疲劳裂纹 ;锻模的工作温度较高 ,其模腔易高温氧化。以上所述都是锻模失效的主要原因。因此可以通过适当的表面处理 ,提高其使用性能。我们对锻模进行离子氮化工艺研究 ,以提高其工作寿命。1热锻模所用材料的特征热锻模所用材料为5CrMnMo ,其化学成分含量如表1。5CrMnMo各临界… 相似文献
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