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使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。 相似文献
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33.
利用流体法研究了对45钢铁素体及奥氏体作氮碳共渗处理的工艺;为便于比较,同时对45钢进行了淬火+低温回火处理。通过金相观察,显微硬度和X射线衍射分析,测定了两种氮碳共渗系数及耐磨性能,并使用轮廓仪测定了试样表面的粗糙度。结果表明,奥氏体氮碳共渗后试样表面的化合物层由两层组成,表层为Fe3N次表层为富含氮、碳的马氏体及奥氏全;而经铁素体氮碳共渗处理的试样,其表面的化合物层只有一层(由Fe3N及少量的 相似文献
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本文综合评述了用射频率等体化学气相沉积法制备类金刚石碳膜过程中的等离子体化学反应和等离子体与材料表面反应机理的研究概况。 相似文献
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烃源岩热解油的轻烃单体和正构烷烃分子碳同位素特征 总被引:2,自引:0,他引:2
采用最新引进的国际八十年代后期开发的GC-deltas气体同位素质谱仪,对几类典型烃源岩的热模拟液态烃产物-热解油进行了GC/C/MS在线(Online)碳同位素分析,获得了有关轻烃单体、正构烷烃及姥鲛烷、植烷分子的碳同位素组成数据.分析资料表明,轻烃单体、正构烷烃及姥鲛烷、植烷的碳同位素特征及分布模式能够有效地反映烃源岩的特征-母质类型、沉积环境及热成熟度等. 相似文献
38.
一、问题的提出 C41—750kg空气锤缸体铸件,是我厂生产的各类铸件中最复杂的一种,该件外形尺寸为2300×1500×870毫米,材质为HT200,毛坯重6.5吨,工作缸与压缩缸要求硬度值为HB170~241(测试点分别在壁厚为45毫米的两缸双点划线内,如图示)。 相似文献
39.
烟气轮机特殊状态下的保护 总被引:3,自引:1,他引:2
从烟气轮机超速的极限开始 ,分别按照阀门的关闭时间为 1 .5s和 6s的两种典型状态 ,对烟机在联轴节断裂等特殊工况下的超速情况进行了分析。最后 ,对烟气轮机在特殊工况下的保护提出了建议。 相似文献
40.
简单介绍了碳氧比测井的原理及通常的数据处理方法。分析了由常规数据处理所得曲线仍然存在的问题及可能的成因 ,并给出了可行的修正办法。讨论了另一种可行的曲线异常数据的检测、剔除方法。实践表明 :文章讨论的两点建议都是可行的 ,并且在提高测量曲线质量的同时也提高了地层含油饱和度的解释精度。 相似文献