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本文概述了离子注入过程中污染产生的原因和防止污染的措施,特别强调了对微粒污染和金属污染的防护以满足ULSI加工对离子注入的要求。 相似文献
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1 现状 近十年来,由于经济的高速发展,人口密度和城市水平的大幅提高,特别是污染型乡镇企业的失控膨胀等,导致了苏南地区水体环境的严重恶化 据1998~2000年江苏省水环境监测中心的资料显示,目前,该 相似文献
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微污染水源水生物接触氧化处理工艺中几种填料处理效果的初步比较 总被引:17,自引:3,他引:14
分析了YDT、TA及PWT3种填料的结构特点,对3种填料在微污染水源水生物接触氧化处理工艺中的处理效果进行了初步比较。研究表明3种填料均可用于微污染水源水生物接触氧化处理工艺,并且3种填料在比表面积相近的安装布置方式下运行条件相同时对氨氮的去除效果接近。有必要进一步研究填料的最优布置方式及在不同的水源水水质条件下填料运行状态的变化等问题。 相似文献
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本文用计算机数字模拟方法研究了电活性分子多层Z型L-B膜修饰电极的循环伏安行为。计算了电极与修饰L-B膜分子第一层之间的电荷转移速度常数K_o,L-B膜分子层间的电荷转移速度常数k_i;对峰电位差△E_p及阳极峰面积Q的影响,以及在不同条件下各层分子的氧化态分数随扫描时间的变化。为研究和设计电活性分子修饰电极的实际体系提供了大量数据和信息。 相似文献
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36.
用反应溅射法在Ar+N2混合气氛中制备了软磁性铁氮膜,并对样品进行了真空退火热处理。考察了制备条件和热处理对铁氮膜的微结构和软磁性能的影响。发现氮气的加入导致了晶粒尺寸减小和软磁性能改善,还能抑制热处理过程中的晶粒生长。 相似文献
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CA/PAN中空纤维血浆分离膜的结构与性能 总被引:4,自引:2,他引:2
本研究以CA及PAN的共混溶液,通过干-湿法纺丝制取中空纤维,利用共混高聚物各组分在凝固剂中相分离速度的差异,形成具有稳定结构的中空纤维孔膜,该膜用于分离血液中的血浆成分具有良好效果。讨论了成型条件及添加剂等对膜结构、性能的影响,用SEM及图相分析仪、MAP压汞仪及DSC等分析手段,对膜的微孔结构、形态、孔尺寸及中空纤维膜的血浆通量和水通量等进行了系统的考查。 相似文献
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预处理工艺对硬质合金与金刚石膜间粘结力的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
在两种经不同预处理的硬质合金YG8基底上,采用微波等离子体化学气相沉积法,在微波功率2kW,压强4.0kPa和6.5kPa,CH4和H2流量分别为1.6cm/s和100.0cm/s的条件下生长金刚石薄膜。利用X射线衍射检测了金刚石薄膜是否存在,用拉曼光谱分析了薄膜的质量,用金相显微镜观察了薄膜的洛氏硬度压痕,标定并比较了不同预处理工艺膜与基底的结合力。实验结果表明,不同的预处理方法对于粘结力的影响不大,最主要的因素是钴含量的多少。 相似文献
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