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本文概述了离子注入过程中污染产生的原因和防止污染的措施,特别强调了对微粒污染和金属污染的防护以满足ULSI加工对离子注入的要求。 相似文献
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1 现状 近十年来,由于经济的高速发展,人口密度和城市水平的大幅提高,特别是污染型乡镇企业的失控膨胀等,导致了苏南地区水体环境的严重恶化 据1998~2000年江苏省水环境监测中心的资料显示,目前,该 相似文献
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微污染水源水生物接触氧化处理工艺中几种填料处理效果的初步比较 总被引:17,自引:3,他引:14
分析了YDT、TA及PWT3种填料的结构特点,对3种填料在微污染水源水生物接触氧化处理工艺中的处理效果进行了初步比较。研究表明3种填料均可用于微污染水源水生物接触氧化处理工艺,并且3种填料在比表面积相近的安装布置方式下运行条件相同时对氨氮的去除效果接近。有必要进一步研究填料的最优布置方式及在不同的水源水水质条件下填料运行状态的变化等问题。 相似文献
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飞机液压系统污染及控制 总被引:2,自引:2,他引:0
本文全面分析了收音机液压系统污染的危害和主要原因,并在此基础上有针对性地提出了预防措施。 相似文献
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活性炭过滤工艺应用于饮用水处理的试验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
通过活性炭滤柱对普通快滤池滤后水的处理试验,说明活性炭(GAC)除对NH4-+-N的去除不够理想外,对有机物(OC),UV254色度和嗅味的去除均有较好的效果,指出在强化常规处理的同时,将活性炭吸附工艺用于淮河污染水的处理是可行的。 相似文献
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研究了用黄磷渣代替部分粘土作陶瓷原料,既可以解决磷渣对环境的污染和堆放占用耕地问题,使该固体废弃物资源化,又能缓解陶瓷原料的短缺。 相似文献