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131.
Jeff Butterbaugh 《集成电路应用》2006,(8):51-51
在集成电路(IC)制造中,需要多次重复去除掩模用光刻胶这一步骤,因此清洁、高效地去胶工艺非常重要。90nm高性能逻辑器件的制造过程使用超过30次光刻工艺。从晶圆表面去除光刻胶的能力在很大程度是由光刻胶性质和工艺历史决定的。在离子注入工艺中,图形化的光刻胶起掩模的作用,特别难以清除。大剂量的离子注入(〉1×l014ions/cm^2)将光刻胶表面脱氢并高度交联,其性能很像非晶碳。改性光刻胶的厚度由注入剂量、注入能量和注入离子种类决定。 相似文献
132.
环氧基负性光刻胶加工微结构的试验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在正交试验的基础上,将BP神经网应用于负性光刻胶(SU-8)加工高分辨率和高深宽比微结构的工艺研究,建立了光刻图形质量与前烘时间、前烘温度、曝光量、后烘时间之间的预测模型,该模型采用三层前向网络,学习算法为梯度下降法。通过实验,得出:前烘温度与前烘时间对光刻质量影响最大,对120~340μm厚的光刻胶,前烘温度取90℃,前烘时间50~100min时,图形的相对线宽差最小;最佳后烘时间(85~95℃)为30min;超声搅拌能缩短显影时间,改善图形质量。试验结果与网络预测结果吻合。结果表明,将BP神经网络应用于UV-LIGA技术中,可以优化光刻工艺。 相似文献
133.
马道章 《有色金属材料与工程》2006,27(4):18-20
推荐使用美国哈兹列特连铸连轧工艺生产铝箔坯料所需的热轧带。在阐述了生产优质铝箔坯料对铝液清洁度(氢含量和过滤精度)的要求以及应该采取的各种工艺措施之后.报道了所取得的效果,即在轧到0.00635mm后,其针孔数少于100个/m^2。 相似文献
134.
通过对碎矿工艺进行技术改造,选用技术性能优良的碎矿设备,降低了碎矿产品粒度,使球磨机处理能力提高19%,提高了选矿厂经济效益。 相似文献
135.
近年来马钢一烧球团生产的技术进步及效果 总被引:1,自引:2,他引:1
马钢一烧竖炉球团系统投产后,通过设备改造和技术创新,包括优化配料方案、增设润磨工艺、探索热工参数,设计新型烘干炉、改造竖炉炉型等,并对生产设备采用计算机系统控制及数据信息自动采集处理,竖炉作业率、利用系数,球团矿产量、合格率,膨润土单耗等多项指标达全国先进水平。 相似文献
136.
利用机电一体化技术可靠性高、使用、调整、维护方便、具有复合功能等优点 ,应用于某油田采油工具测试站总体方案设计 ,包括测试站主要试验装置、计算机测控系统技术方案等 ,提高了测试站测试精度与效率。 相似文献
137.
文学宽 《徐州建筑职业技术学院学报》2003,3(3):22-24
淮南孔集煤矿在有煤尘爆炸危险及项板坚硬的采空区内进行中深孔挤压爆破时,在国内率先应用煤矿安全导爆索代替多雷管起爆,成功地进行了22次爆破,解决了生产急需,获得了较好的技术经济效果.并在导爆索起爆性能测定、操作工艺及在有煤尘爆炸危险的采空区内如何安全爆破等方面取得了经验. 相似文献
138.
随着电泵采油技术的发展和高温潜油电缆需求量的增长,研制高温潜油电缆,填补国内电缆生产领域的空白,及时抢占国内外潜油电缆市场显得尤为必要。 相似文献
139.
本介绍了汽车散热器芯子烘焊自动线优化控制系统的设计方案,提出了双重优化控制方法,即先借助正交试验建立各种型号散热器的工艺参数模型库,生产中再依靠质量、能耗指标进行修正,及时调整控制过程参数。实际运行表明:生产质量大大提高,能耗显降低。 相似文献
140.
喷粉处理改善球化效果的试验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
探讨了稀土镁球化剂在喷粉处理时的球化效果,进而对喷粉脱硫、球化、孕育综合处理工艺的球化效果进行了试验研究。结果表明:喷粉球化是一种有效的新球化方法,可获得低硫、低氧、石墨圆整而细小的铸态铁素体球墨铸铁。综合喷粉球化工艺可将脱硫剂、球化剂、孕育剂喷入铁水,完成脱硫、球化、孕育过程。获得的球铁在强度较高的同时,其延伸率和冲击值也很大,使铸态生产高韧性球铁成为可能。 相似文献