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微制造平台微振动的H2/H∞混合控制 总被引:6,自引:0,他引:6
基于啄木鸟头部生物构造及其仿生隔振机理 ,采用混合隔振技术建立了微制造平台隔振系统。该系统以空气弹簧和橡胶层作为被动隔振元件、超磁致伸缩致动器作为主动隔振元件。针对 H2 最优控制和 H∞ 鲁棒控制的优缺点 ,主动控制器采用H2 / H∞ 混合控制进行设计 ,并通过 L MI凸优化方法求解 H2 / H∞ 混合控制器。仿真结果表明所设计的 H2 / H∞ 混合控制器具有良好的鲁棒稳定性和时域性能 ,可在非常宽的频率范围对基础干扰和由微制造设备产生的直接干扰所引起的微制造平台振动进行有效的控制 ,其振动控制效果明显优于 H∞ 控制 相似文献
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针对目前复杂柔性隔振系统的数学模型与实际隔振系统之间存在的差异,将阻抗/导纳方法和矩阵传递法相结合,建立包括被隔离设备、多个电磁式主被动一体隔振器和柔性基础在内的复杂柔性耦合系统的状态空间模型。将相对于名义模型中隔振系统参数的变化量以虚拟回路增益的方式引入模型,建立具有参数摄动的隔振系统数学模型。在此基础上,通过矩阵变换的形式,推导出反映模态频率不确定的参数摄动的隔振系统模型,直观反映系统模态阻尼和模态频率的变化,为下一步复杂柔性耦合隔振系统的鲁棒控制器的设计提供依据。 相似文献
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《固体电子学研究与进展》2016,(3)
基于沟槽型超结器件结构,研究了超结MOSFET器件的P型杂质的分布对器件性能包括反向击穿电压和雪崩能量的影响。结果表明,通过P型杂质浓度和杂质浓度分布的优化,可以改善器件击穿电压的一致性,提高器件的雪崩击穿能量并改善其均匀性,从而给出了一种提高器件雪崩能量及改善雪崩能量一致性的方案。 相似文献
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以布刻有微沟槽结构的电子线路板为芯模,依次采用化学镀铜和脉冲镀铜的方法,金属化填充微沟槽,实现导通互连。借助工具显微镜和扫描电镜观察发现:镀铜层较平整、连续,且基本覆盖微沟槽底面,仅出现轻微漏镀状况;此外,镀铜层晶粒细致且结构致密,间接表明其电阻率较低,导电性能较好。 相似文献
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浅谈循环流化床锅炉水冷壁磨损问题 总被引:1,自引:0,他引:1
本文通过对一起锅炉检验中出现的缺陷现象,分析循环流化床锅炉水冷壁磨损方式及形成原因,并提出减轻磨损的方法。 相似文献