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采用离子束增强沉积(IBED)技术,在不同能量氮离子的轴助轰击下制备了Cr-N薄膜,通过SEM观察、XRD分析和显微硬度测定,发现离子轰击能量对Cr-N薄膜的表面形貌、相组成和硬度有显著的影响;随着能量的升高,膜表明形貌由岛形颗粒状转变成蜂窝状;一定能量轰击下获得的Cr2N和CrN混相结合有最高的薄膜硬度;高达16keV的氮离子轰击可诱发非晶化的出现,并对膜有一定的强化作用。在此基础上探讨了离子轰 相似文献
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13.
根据散体颗粒的性质,提出新的“料泛”准数关系式Sg=h1/hj,如果Sg〉1.0,则散体颗粒有“料泛”趋势,并用“料泛”趋势随Sg值增大而增强,而当Sg=1.0时,散体颗粒没有“料泛”趋势,实验结果表明,此实验方法同Bruff的方法相比,具有操作简单,数据测量方便,所建立的“料泛”准数物理意义明确等特点。 相似文献
14.
利用发射光谱诊断技术研究了磁增强反应离子刻蚀系统中CF4+O2的辐射谱、谱线成分及强度,分析了谱线强度与射频福射功率、氧气含量的关系,并与没有磁场存在时的情况作了比较。 相似文献
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