动基座自校零压电陀螺

研制的一种压电陀螺能在动基座条件下自动消除由于温度和时间变化造成的零位漂移。典型的产品可使零位变化小于０．０５°／ｓ。零位的温度系数小于０．０００５°／ｓ／℃。     

几种高温高频压力传感器的研制与开发

本文介绍了几种在高温工况下使用的动态压力传感器的设计、研制与开发,它们都是采用基于MEMS技术的SOI技术制作的,低至零频,高至数百赫兹的宽的动态频响使它们在兵工测试领域有着良好的应用前景,可望解决一些传统传感器难以解决的问题.     

无陀螺捷联惯导系统现状及发展研究

结合国内外的研究文献,对无陀螺捷联惯性导航系统(GFSINS)的研究进行总结,分析了其导航和力学原理.介绍了三种无陀螺惯性测量单元加速度计配置方案,分别就其典型配置进行了重点分析.最后,对该技术的未来研究方向进行了展望.     

数字闭环光纤陀螺的反馈特性分析

反馈信号的调制解调是数字闭环光纤陀螺中信号处理系统的核心部分,尤其是阶梯波的反馈特性对整个光纤陀螺系统的稳定性有很大的影响。从数字闭环光纤陀螺的原理出发，将光纤陀螺系统中的光信号、电信号结合起来，分析阶梯波反馈的原理及影响其反馈特性的各种因索。构建数字闭环系统的控制流程图，并推导出系统的传递函数，分析了高精度光纤陀螺的信号处理方案．对光纤陀螺干涉信号的测试说明了原理的可行性。     

微电机械系统在光通信中的应用:现状和未来

随着波分复用(WDM)网络的发展，光纤通信系统现已发展成一种复杂的多波长通信系统。由于光通信容量的愈益增加，人们寄希望于创新技术去实现光通信系统的巨大潜力，而微电机械系统(MEMS)则是解决WDM网络中关键技术的最有竞争力的候选技术。其应用包括大尺寸光开关结构(如光交叉连接器件、光插／分多路传输器)和传输网络用各种类型的有源和无源光学组件(如可调谐激光器和滤波器、色散补偿装置、放大增益匀衡器、偏振控制器及其他器件)。本文讨论了光通信用MEMS技术的开发现状、希望、面临的挑战及未来发展前景。重点讨论了基于MEMS的光交叉连接器。     

鱼雷捷联系统动基座精对准的卡尔曼滤波法

为解决鱼雷捷联系统的初始对准，提出了失准角及陀螺随机常值漂移快速估计方法，经数字仿真，对缩短初始对准时间，提高初始对准精度有较好的效果。     

串联MEMS开关的瞬态电磁场分析

提出了一种串联MEMS开关的电磁耦合模型，并且应用该模型，对采用表面硅工艺和体硅工艺制作的MEMS开关，采用全波分析方法，进行了瞬态电磁场分析。由于开关尺寸为微米量级，而驱动电压高达40～60V，这样的瞬态高压有可能对开关上的信号产生影响。理论仿真结果显示，开关驱动路对信号路有很强的耦合场存在。实验结果同样显示，耦舍到信号路的信号可以输入信号产生最大值为60％的失真。     

《微电子机械系统》

本书介绍了微电子机械系统（MEMS）的相关基础知识、MEMS主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨，主要内容分为五个部分，首先介绍MEMS的相关力学量测量方法，使读者对力学量方面的知识有详细的了解，然后介绍MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍MEMS中的传感器部分，包括传感器的原理、结构和实现方法，