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101.
多晶硅薄膜的两步激光晶化技术   总被引:1,自引:0,他引:1  
曾祥斌  徐重阳  王长安 《压电与声光》2002,24(4):315-317,326
采用两步激光晶化技术获得了多晶硅薄膜,分析计算了激光晶化时薄膜中的温度分布及表面温度与激光功率密度的关系,利用计算结果并优化了激光晶化时的工艺参数,采用该技术制备了性能优良的顶栅多晶硅薄膜晶体管,测量了薄膜晶体管的转移特性与输入输出特性,从多晶硅薄膜的制备工艺上分析了提高薄膜晶体管性能的原因。  相似文献   
102.
玻璃衬底上MIUC Poly-Si TFT显示驱动电路   总被引:4,自引:0,他引:4       下载免费PDF全文
以高性能的金属诱导单一方向横向晶化多晶硅薄膜晶体管(MIUC poly-Si TFT)为基础,研制出性能能满足AM-LCD和AM-OLED要求、版图和象素尺寸适配、制备工艺和象素电路兼容的多晶硅TFT行扫描和列驱动电路.该行扫描电路工作电压为3.5-10V;当工作电压为5V、负载电容为22pf时,下降沿约为150ns,上升沿约为205ns,最高工作频率在1MHz以上;列驱动电路工作电压为3.5-8V;当工作电压为5V、负载电容为22pf时,上升沿约为200ns,信号衰减率为15%(64μs扫描周期),最高工作频率达到4MHz.将该MIUC poly-Si TFT多晶硅行扫描、列驱动电路和有源选址电路集成到同一基板上,制备出象素数为80×RGB×60、动态显示效果良好的全集成型LCD屏样品.  相似文献   
103.
微波退火非晶硅薄膜低温晶化研究   总被引:1,自引:1,他引:1  
多晶硅薄膜晶体管以及其独特的优点在液晶显示领域中起着重要的作用。为了满足在普通玻璃衬底上制备多晶硅薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器,低温制备(<600℃高质量多晶硅薄膜已成为研究热点。文章研究了一种低温制备多晶硅薄膜的新工艺;微波退火非晶硅薄膜固相晶化法,利用X射线衍射、拉曼光谱和扫描电镜分析了微波退火工艺对非晶硅薄膜固相晶化的影响,成功实现了低温制备多晶硅薄膜。  相似文献   
104.
用脉冲 Ar F准分子激光熔蚀 Si C陶瓷靶 ,在 80 0℃ Si(10 0 )衬底上淀积 Si C薄膜 ,经不同温度真空 (10 - 3Pa)退火后 ,用 FTIR、XRD、TEM、XPS、PL 谱等分析方法 ,研究了薄膜最佳晶化温度及表面形态、结构、组成 ,并对在最佳退火温度处理后的样品进行了化学态、微结构及光致发光的研究 .结果表明 ,在 Si(10 0 )上 80 0℃淀积的样品为非晶Si C薄膜 .经 85 0— 10 5 0℃不同温度真空退火后 ,Si C薄膜经非晶核化 -长大过程 ,在 980℃完成最佳晶化 .随退火温度的变化 ,薄膜中可能存在 3C- Si C与 6 H- Si C的竞争生长或 /和 3C- Si C相的长、消 (最佳温度  相似文献   
105.
在油库检查中发现,立式罐冷却喷水环管的喷水孔经常堵塞,堵塞的主要原因是水中含有杂质,喷水环管上没有装放空阀,喷水环管内壁有毛刺和喷水孔易锈蚀。根据堵塞原因找出对应的解决办法,并进一步说明了采用膜式喷头的好处。  相似文献   
106.
非晶硅薄膜激光晶化及其结构分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
以射频(频率为13.6MHz)磁控溅射系统制备的非晶硅薄膜为前驱物,采用激光晶化技术实现从非晶硅薄膜到纳米晶硅薄膜的相变过程。采用拉曼光谱仪和高分辨透射电镜对激光晶化薄膜的组织结构进行了研究。结果表明:薄膜由非晶硅结构转变为微晶硅结构,微晶硅晶粒尺寸在纳米级。激光晶化存在一个最佳工艺参数,功率太高或太低都不利于晶化。  相似文献   
107.
激光晶化制备多晶硅薄膜技术   总被引:1,自引:0,他引:1  
激光晶化是一种制作晶硅薄膜器件(如薄膜晶体管、太阳能电池)很有效的技术.展望了低温多晶硅薄膜的应用前景,详细介绍了近几年激光晶化制备多晶硅薄膜技术的研究成果,并就激光对非晶硅作用的原理作了简单讨论.  相似文献   
108.
The crystallization and electrical characterization of the semiconducting polymer poly(3‐hexylthiophene) (P3HT) on a single layer graphene sheet is reported. Grazing incidence X‐ray diffraction revealed that P3HT crystallizes with a mixture of face‐on and edge‐on lamellar orientations on graphene compared to mainly edge‐on on a silicon substrate. Moreover, whereas ultrathin (10 nm) P3HT films form well oriented face‐on and edge‐on lamellae, thicker (50 nm) films form a mosaic of lamellae oriented at different angles from the graphene substrate. This mosaic of crystallites with π–π stacking oriented homogeneously at various angles inside the film favors the creation of a continuous pathway of interconnected crystallites, and results in a strong enhancement in vertical charge transport and charge carrier mobility in the thicker P3HT film. These results provide a better understanding of polythiophene crystallization on graphene, and should help the design of more efficient graphene based organic devices by control of the crystallinity of the semiconducting film.  相似文献   
109.
In this paper we solve a long term material problem of thin film organic electronics, namely the solution processing of an opaque electrode. Solution processing of opaque metallic top electrodes typically leads to severe shunting problems. We solve this issue by reversing the electrode sequence and print a highly conductive but opaque bottom electrode from metallic precursors. Devices based on these printed bottom electrodes are compared to reference stacks based on evaporated silver. The transparent top electrode is solution processed from silver nanowire inks, which results in highly transparent electrodes with excellent conductivity. The optical, mainly reflective properties of the opaque silver electrode are investigated in comparison to screen-printed silver pastes. The outstanding smoothness of the printed Ag electrode results in high reflectivity and poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl):[6,6]-phenyl-C61-butyric acid methyl ester (P3HT:PCBM) based solar cells with η > 2.5% and high fill factors performing on par with reference devices on evaporated silver electrode layers.  相似文献   
110.
化学复合镀层激光处理研究   总被引:11,自引:0,他引:11  
邵红红  周明  陈光 《应用激光》2003,23(4):194-197
研究了激光处理对Ni-P -SiC化学复合镀层的影响。借助于扫描电镜、能谱仪、X射线衍射、显微硬度计等设备对激光处理后复合镀层的表面形貌、组织结构及性能进行了综合分析。结果表明 ,对复合镀层进行激光处理可以获得与炉内加热同样的镀层硬度 ,且当激光功率 4 0 0W ,扫描速度 1.5m /min时 ,镀层硬度高于炉内加热的硬度  相似文献   
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