PECVD法低温沉积多晶硅薄膜的研究

在玻璃衬底上采用常规的PKCVD法在低温(≤400℃)条件下制得大颗较(直径＞100nm)、择优取向(220)明显的多晶硅薄膜。选用的反应气体为SiF4和H2混合气体。加入少量的SiH4后，沉积速率提高了近10倍。分析认为，在低温时促使多晶硅结构形成的反应基元应是SiFmHn(m n≤3)，而不可能是SiHn(n≤3)基团。     

高密度互连印制板

本文阐述了RCC材料与化学蚀刻法制作高密度互连印制板的工序和详细方法,意在探寻最为经济、简单而又行 之有效的工艺。     

流量比对等离子体基团分布和薄膜结构的影响

使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3／C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加，成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大，而刻蚀基团F的密度也会增加，从而使得a—C：F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明，在高CHF3流量下沉积的a—C：F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C：F薄膜的制备中CHF3／(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。     

铝薄膜CMP影响因素分析

提出了在碱性抛光液中铝薄膜化学机械抛光的机理模型,对抛光液的pH值、磨料、氧化剂浓度对过程参数的影响做了一些试验分析。试验结果表面粗糙度的铝薄膜所需的最优化CMP过程参数:硅溶胶粒径为15～20nm,pH值为10.8～11.2,氧化剂浓度为2.5%～3%。     

Preparation and properties of nano-sized SnO2 powder

1　INTRODUCTIONSnO2isoneofthemainmaterialsusedingassensor.Becauseofthehumidityandgassensingfunction,itattractsmoreandmoreattentions.Butthepresentproblemishowtoimprovethestabilityandsensibilityofgassensor.Researchershavetakenmanymeasurestoresolvethisproble…     

采用纯化学物质校准仪器测定钛合金中碳量

采用纯化学物质对高频加热－红外检测碳硫仪校准，对钛合金中的碳量进行测定。     

锰铜基高阻尼合金中锌量的测定──硫氰酸盐萃取分离络合滴定法

基于甲基异丁基甲酮于稀盐酸介质中定量地萃取Ｚｎ￣（２＋）与ＣＮＳ￣－形成的络阴离子。从而达到与共存的锰、镍、铝、铬的完全分离。在有氟化物、硫脲存在时Ｆｅ￣（３＋）、Ｃｎ￣（２＋）和Ａｇ￣＋也不被萃取。有机相中的锌于ＰＨ５．５“六胺”缓冲介质中返萃取回水相，用ＥＤＴＡ滴定。在文中给定的条件下锌的一次被萃取率可达９９％以上，成功地解决了锰铜基高阻尼合金中共存离子对锌量测定的干扰问题。     

碳纳米管(CNT)场发射显示器的关键技术的研究

对碳纳米管阴极的制备以及场发射显示器的真空封装技术进行了研究.利用一种新的碳纳米管生长工艺制备出了具有优良场发射性能的碳纳米管阴极.并将这种直接生长的碳纳米管薄膜作为阴极,结合一种弹性封装工艺,开发了一种具有简单字符显示功能的场发射显示器.该显示器在较低的工作电压下就可获得高亮度的显示效果,并且器件的亮度与驱动电压成较好的线性关系,这将有利于未来的碳纳米管场发射显示器实现高亮度和多级灰度显示.器件的持续工作寿命测试已经超过5500小时,充分验证了碳纳米管作为场发射阴极的应用潜力.     

有机化合物中碳原子化学环境的分类

进行碳－１３ＮＭＲ波谱模拟的一种常用方法为线性回归，其数学模型则由已知结构所测得的化学位来建立。显然，每一数学模型仅可用于某种相似的化学环境。因此，为了进行化学环境的分类，本文提出权重层次位图法和分子连接性指数法两种方法以进行一些参数的计算，同时采用多元分析手段，如主成分分析和聚类分析，以进行多维空间数据点的显示，所得结果比较满意，从而可为碳－１３波谱模拟中回归方程的选择提供理论依据。     

Processing and microstructure of non-oxide ceramic fibres

Research and development efforts on high-temperature, oxidation-resistant fibres have increased over the past decade due to the demand for light-weight, stiff and strong composite materials in aerospace applications. Varieties of ‘high-performance’, continuous, non-oxide fibres with low-density, high tensile strength and tensile modulus have been developed either from organic precursors or via chemical vapour deposition for fabrication of ceramic matrix composites. Fibres derived from polymer precursors (e.g. Nicalon, Tyranno, HPZ) are small in diameter (compared to CVD monofilaments) and are ideally suited for ceramic composites. Processing, microstructural stability and mechanical properties of these newly developed SiC and Si₃N₄ base fibres are briefly reviewed in this paper.