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32.
X射线光刻掩模后烘过程的瞬态热分析 总被引:1,自引:0,他引:1
X射线光刻掩模是下一代光刻技术(NGL)中的X射线光刻技术的关键技术难点。在电子束直写后的掩模后烘过程中,掩模表面的温度场分布及温升的均匀性是影响掩模关键尺寸(CD)控制的重要因素,如果控制不当,会造成掩模表面的光刻胶烘烤不均匀,使掩模吸收体CD分布变坏。针对电子束直写后X射线光刻掩模的后烘过程建立了热模型,并采用有限元技术进行了瞬态温度场的计算。计算结果表明:采用背面后烘方式,在达到稳态时出现高温区和低温区,最大温差为10.19℃,容易造成光刻胶局部烘烤过度,而采用正面后烘方式,掩模达到稳态的时间短,温度分布均匀,烘烤效果好。 相似文献
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Youpin Gong Xuemin Zhang Guangtong Liu Liqiong Wu Xiumei Geng Mingsheng Long Xiaohui Cao Yufen Guo Weiwei Li Jianbao Xu Mengtao Sun Li Lu Liwei Liu 《Advanced functional materials》2012,22(15):3153-3159
Chemical vapor deposition (CVD) provides a synthesis route for large‐area and high‐quality graphene films. However, layer‐controlled synthesis remains a great challenge on polycrystalline metallic films. Here, a facile and viable synthesis of layer‐controlled and high‐quality graphene films on wafer‐scale Ni surface by the sequentially separated steps of gas carburization, hydrogen exposure, and segregation is developed. The layer numbers of graphene films with large domain sizes are controlled precisely at ambient pressure by modulating the simplified CVD process conditions and hydrogen exposure. The hydrogen exposure assisted with a Ni catalyst plays a critical role in promoting the preferential segregation through removing the carbon layers on the Ni surface and reducing carbon content in the Ni. Excellent electrical and transparent conductive performance, with a room‐temperature mobility of ≈3000 cm2 V?1 s?1 and a sheet resistance as low as ≈100 Ω per square at ≈90% transmittance, of the twisted few‐layer grapheme films grown on the Ni catalyst is demonstrated. 相似文献
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运用改进的全矢量有效折射率法(IFVEIM),课题组自行设计了一种在900 nm附近具有低平坦色散高非线性特性的光子晶体光纤.并且在改进工艺的基础上,采用中心抽真空挤压法对其进行了制备.虽然所制得光纤的结构参数与理论设计值存在一定的偏差,但其在所研究波段内色散值仅为0.5 ps/km/nm,非线性系数值则达到了35(W*km)-1,这在当前规则结构的纯硅光子晶体光纤中已经很高.最后,我们对其进行了非线性实验测试,其在400~1 400 nm的波段范围内展现出了宽平坦的超连续谱. 相似文献
35.
Conformal mapping techniques are used to obtain the closed-form expressions of the characteristic impedance and effective dielectric constant of the asymmetrical coplanar waveguide with finite line dimensions and substrate thickness. These closed-form expressions are generally applicable to design various particular types of coplanar waveguide transmission lines. 相似文献
36.
光纤光栅的不同折射率调制及其实现方法 总被引:2,自引:1,他引:2
本文研究光纤光栅的不同折射率分布及其光谱特性和应用 ;利用模式耦合方程求解几种典型的折射率调制光纤光栅的光谱特性 ;研究了光纤光栅不同折射率调制的实现方法 ,并设计研制了实现变迹曝光法的扫描装置。 相似文献
37.
38.
The effect of the different re-oxidation annealing (ROA) processes on the SiO2/SiC interface charac- teristics has been investigated. With different annealing processes, the flat band voltage, effective dielectric charge density and interface trap density are obtained from the capacitance-voltage curves. It is found that the lowest interface trap density is obtained by the wet-oxidation annealing process at 1050 ℃ for 30 min, while a large num- ber of effective dielectric charges are generated. The components at the SiO2/SiC interface are analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) testing. It is found that the effective dielectric charges are generated due to the existence of the C and H atoms in the wet-oxidation annealing process. 相似文献
39.
To provide a certain level of Quality of Service (QoS) guarantees for multiuser wire-less downlink video streaming transmissions, we propose a multiuser scheduling scheme for QoS guarantees. It is based on the classic Queue-Length-Based (QLB)-rate maximum scheduling algorithm and integrated with the delay constraint and the packet priority drop. We use the large deviation principle and the effective capacity theory to construct a new analysis model to find each user’s queue leng-th threshold (delay constraint) violation prob-ability. This probability corresponds to the upper bound of the packet drop probability, which indicates a certain level of statistical QoS guarantees. Then, we utilize the priority information of video packets and introduce the packet priority drop to further improve the quality perceived by each user. The simu-lation results show that the average Peak Signal to Noise Ratio (PSNR) value of the priority drop is 0.8 higher than that of the non-priority drop and the PSNR value of the most badly damaged video frame in the priority drop is on an average 4 higher than that of the non-priority drop. 相似文献
40.
研究红外场曝露对于高血糖疾病模型大鼠的影响.主要利用红外场曝露高血糖大鼠30天,然后通过考查红外场曝露对于高血糖大鼠血液组织红外光谱特征的影响来研究红外线曝露对于大鼠血糖水平产生的影响,研究结果认为红外场曝露有助于高血糖大鼠血糖水平的恢复,并进一步通过红外光谱数据的二阶导数谱的分析探讨了红外场曝露对于大鼠血糖水平产生影响的机理. 相似文献