Plasma immersion ion implantation for SOI synthesis: SIMOX and ion-cut

We have demonstrated feasibility to form silicon-on-insulator (SOI) substrates using plasma immersion ion implantation (PIII) for both separation by implantation of oxygen and ion-cut. This high throughput technique can substantially lower the high cost of SOI substrates due to the simpler implanter design as well as ease of maintenance. For separation by plasma implantation of oxygen wafers, secondary ion mass spectrometry analysis and cross-sectional transmission electron micrographs show continuous buried oxide formation under a single-crystal silicon overlayer with sharp Si/SiO₂ interfaces after oxygen plasma implantation and high-temperature (1300°C) annealing. Ion-cut SOI wafer fabrication technique is implemented for the first time using PIII. The hydrogen plasma can be optimized so that only one ion species is dominant in concentration and there are minimal effects by other residual ions on the ion-cut process. The physical mechanism of hydrogen induced silicon surface layer cleavage has been investigated. An ideal gas law model of the microcavity internal pressure combined with a two-dimensional finite element fracture mechanics model is used to approximate the fracture driving force which is sufficient to overcome the silicon fracture resistance.     

松香及其衍生物在浮选分离中的应用

介绍了松香的来源、化学组成及理化性质；讨论了松香及其衍生物在非硫化物矿浮选分离、有色金属离子的浮选分离以及从水溶液中浮选分离有机物等方面的应用情况。     

用扫描电镜判断火工药剂与金属桥丝长期接触的相容性

火工药剂与金属桥丝接触，在高温、高湿条件下贮存一定时间后两者是否相容，用电镜观察其金属表面的腐蚀形态（面积、深浅），以此来判断金属桥丝与火工药剂的相容性。     

砷化镓声电荷转移延迟线的设计与工艺研究

由于声电荷转移(ACT)这一新颖的高速缓冲抽样技术的发明,使得新一代高速高频信号处理器件的实现成为可能。本文研究了第二代平面结构的ACT器件转移沟道的电位分布特性,给出了平面结构ACT延迟线的设计,并研究了ACT器件的工艺实现。     

火工品检验过程中常见的几个质量问题及原因分析

介绍了火工品检验过程中常见的几个质量问题，如零部件报废、工艺控制、外观质量、绝缘电阻等，对常见问题的原因进行了分析，并提出了质量控制的措施。     

人工接地装置设计方法分析

本文系统地论述了人工接地装置的设计方法,修正了现有文献中有关论述的缺点和错误,提出了通过迭代求解方程组来设计人工接地装置的新方法。     

电机拆线固定装置的制作

针对传统拆线方法劳动强度大及不安全性,制作电机拆线固定装置,为车间的生产提 供安全保障。     

有机EL的稳定性和寿命

介绍了有机ＥＬ在稳定性及寿命方面的最新研究动态，着重描述了器件功能层组合的相互接触、阴极、空穴传输层玻璃化温度和驱动条件等对有机ＥＬ稳定性和寿命的影响。     

一种基于单片机的变电站控制保护系统的实现

以单片机８０３１ 为核心组成的采集、保护和通信模块，通过ＲＳ４８５ 的连接，与４８６ 工控微机构成了分布式３５ ｋＶ 变电站的自控系统，实现变电站的计量、保护和控制等功能，以达到变电站的无人值守或少人值守。