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S. Zimmermann N. AhnerF. Blaschta M. SchallerH. Zimmermann H. RülkeN. Lang J. RöpckeS.E. Schulz T. Gessner 《Microelectronic Engineering》2011,88(5):671-676
Reactive ion etch processes for modern interlevel dielectrics become more and more complex, especially for further scaling of interconnect dimensions. The materials will be damaged within such processes with the result of an increase in their dielectric constants. The capability of selected additives to minimize the low-k sidewall damage during reactive ion etching (RIE) of SiCOH materials in fluorocarbon plasmas was shown in different works in the past. Most of the investigated additive gases alter the fluorine to carbon ratio as well as the dissociation of the parent gas inside the etch plasma. The result is a changed etch rate, a modified polymerization behavior and other characteristics of the process induced SiCOH damage. Heavy inert ions like argon will be accelerated to the sample surface in the cathode dark space and enhance therewith the sputter yield on the SiCOH network [1]. In this paper the additives Ar, O2, C4F8, H2, N2 and CO were added to a conventional CF4 etch plasma. We try to provoke different changes in the plasma conditions and therewith in the process results. Contact angle measurements, spectroscopic ellipsometry, Hg-probe analysis, FTIR measurements and SEM cross-sections were used to overview the additive induced modifications. To understand the influences of the additives gases more exactly, changes in the physical and chemical plasma behavior must be analyzed. Therefore quadrupole mass spectrometry (QMS) and quantum cascade laser absorption spectroscopy (QCLAS) were used. 相似文献
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为实现1 m 量级跨超声速风洞连续变侧滑角能力,拓展试验技术范围、提升试验效率,研制一种连续变
滚转角试验装置。介绍该装置的技术要求、结构设计及仿真结果,以及配套的控制系统软硬件设计,给出装置整体
系统进行电磁兼容性测试、静态载荷测试及风洞试验验证结果。仿真、测试及风洞结果表明:该装置在风洞现场环
境下使用具有良好的电磁兼容性,并能够有效承担风洞试验载荷要求;同时,采用连续变滚转角试验装置试验数据
重复性良好、采用“常规测力中部支架+12°双转轴”支撑方式比较,试验数据规律基本一致,其小量偏差与2 种方
式的支撑干扰相关;该装置控制精度高、运行速度和范围均满足技术要求,可工程化应用于风洞试验。 相似文献
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通过对拖曳式有源雷达诱饵干扰的分析,得到了平衡状态下对导引头测角值进行数据积累并且取均值后,导引头将指向大功率辐射源的结论。在诱饵信号从功率上压制栽机回波信号的前提下,对导引头处于平衡状态时的测量角公式进行数学推导。结果表明:可由导引头处理时间内任意两次测角值及其对应的和支路振幅比求得载机、诱饵和导弹三者形成的夹角的角平分线方向,从而间接求得小功率辐射源(载机)的角度。最后,结合比例导引规律,通过飞行弹道仿真验证了雷达型空空导弹应用上述方法可以获得准确的目标角度,进而导引导弹准确命中目标。 相似文献
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在预处理室中对ITO薄膜进行等离子体处理,研究分别在氧气、氮气、氩气及空气四种工作气体下,等离子体处理压强和处理时间对薄膜的润湿性及性能参数的影响。接触角测试仪表征表明,等离子体处理时间越长、处理压强越大,静态H2O接触角越小,其润湿性越高。分光光度计测试结果表明,经等离子体处理,ITO薄膜透过率较未处理均有所下降。四种工作气体下,等离子体处理压强越大对透过率的影响越小,但随着处理时间的增长影响会增大;相较其他工作气体,氧气等离子体处理整体变化最小。四点探针表征表明,处理后的ITO薄膜方块电阻无明显变化,这是由于等离子体处理只对ITO薄膜表面进行改性,没有改变内部性质。利用霍尔效应测量载流子浓度,没有发现明显变化,与方块电阻不变结论一致。 相似文献
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针对新疆艾维尔沟矿区大倾角多煤组地表岩层移动与覆岩破坏特征,分析了大倾角多煤组地面井失稳机制,合理选择了地面井位置,优化了钻固井工艺及井身结构,并进行了适用性试验考察。试验工作面推过后井身结构稳定,套管基本未发生异常变形破坏,地面井抽采瓦斯持续稳定,可为新疆矿区大倾角多煤组地面井高效抽采瓦斯提供技术支撑及示范作用。 相似文献
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表面肌电信号的产生超前于肢体运动的发生,具有预测肢体运动的能力,常常辅助患者的康复训练。针对单通道表面肌电信号难以有效进行关节角度预测的问题,本文提出了一种基于多通道肌电特征采集下的最大相关最小冗余结合粒子群优化的特征选择算法。通过与采用mRMR算法、主成分分析法对关节角度预测精度进行实验对比,验证mRMR-PSO算法的性能。实验结果表明,基于多通道的mRMR-PSO特征选择算法相比mRMR和PCA算法在关节角度预测精度分别提高了32.6%和14.9%,从而验证了算法的有效性,并将该算法应用于实际场景。 相似文献
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不规则钢筋砼板的塑性理论计算 总被引:1,自引:0,他引:1
不规则钢筋砼板的计算,目前尚无明确的方法和统一的计算结果。本探讨不规则的钢筋砼板在极限状态下承载能力的计算方法。用屈服线分析法求板的承载能力的数值解,对角部效应的影响提出了补偿内力功的概念,采用局部配置板顶钢盘的方法。 相似文献