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The rapid scaling of integrated circuit requires further shrinkage of lateral device dimension, which correlates with pillar thickness in vertical structure. This paper investigates the effect of pillar thickness variation on vertical double gate MOSFET (VDGM) fabricated using oblique rotating ion implantation (ORI) method. For this purpose, several scenarios of silicon pillar thickness tsi were evaluated for 20–100 nm channel length. The source region was found to merge at pillar thickness below 75 nm, which results in floating body effect and creates isolated region in the middle of pillar. The vertical devices using ORI method show better performance than those with conventional implantation method for all pillar thickness, due to the elimination of corner effect that degrades the gate control. The presence of isolated depletion region in the middle of pillar at floating body increases parasitic effect for higher drain potential. By further reduction of pillar thickness towards fully depleted feature, the increase in gate-to gate charge coupling improves the performance of ORI-based vertical double gate MOSFET, as evident in near-ideal swing value and lower DIBL, compared to the partially depleted and body-tied device. 相似文献
62.
63.
简述了硫铵滚筒干燥器的干燥原理及工艺流程,提出自动测控系统的控制要求及实现方案配置,给出了硫铵含水量控制调节、干燥器出口微负压控制调节、水溶雾沫除尘器等几个关键环节的测控原理及控制过程。 相似文献
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65.
66.
针对旋转物体、移动部件或物体内部温度分布采集的问题,文中设计了一种小体积、精度高、低功耗的温度测量系统。该系统能无线传输数据并能温度数据多通道采集。系统采用PT100作为温度传感器,利用高一致性和低导通阻抗的多路模拟开关ADG888实现多路测量控制。软件上,通过建立铂阻值与ADC转换结果的修正函数,对PT100的整个信号链进行系统校准,获得准确的PT100阻值。在比较多种非线性处理方法并进行误差分析后,采用PT100的传递函数校正非线性误差,以获得高精度的测量值。经测试,温度多路采集系统在0~300 ℃的设计温度范围内可达到0.5 ℃的精度。 相似文献
67.
在非旋波近似下,通过采用相干态正交展开的方法,对薛定谔猫态光场与V型三能级原子相互作用的量子特性进行了研究。首先,精确求解了V型三能级的能谱,并判断了系统的保真度。其次,演化问题的结果表明:当原子初态处于基态时,随着初始光场强度的增大,奇相干态和偶相干态的二阶相干度的振幅都减小,且表现出聚束效应与反聚束效应的临界状态。当原子初态处于叠加态时,随着初始光场强度的增大奇相,奇干态和偶相干态的二阶相干度的振幅都减小,且表现出聚束效应。最后,当系统耦合系数减小,光场二阶相干度的振荡幅度减小,光场呈现反聚束效应。 相似文献
68.
45°旋转镜加K反射镜扫描特性讨论 总被引:1,自引:3,他引:1
讨论了采用45°旋转镜加K反射镜实现多元扫描的可行性。分析表明该扫描模式虽然可以消除单独45°旋转镜带来的像旋转问题,但只能在严格保证初始同相位、转速稳定时才能实现,且存在偏振较大的问题,建议采用时应特别慎重 相似文献
69.
基于分段伪Keystone变换的快速旋转目标检测 总被引:1,自引:0,他引:1
对于高距离分辨雷达,快速复杂运动目标在相参积累时间内出现的越距离单元走动给检测与识别带来极大的困难.本文针对快速旋转目标越距离单元走动的问题,提出了一种新的分段伪Keystone变换方法,对越距离单元走动进行校正.该方法首先将数据按一定准则分段,每段数据用伪Keystone变换处理,校正目标的越距离单元走动,然后将每段数据"拼接"在一起,完成整个观测时间的距离像对齐,并在此基础上实现积累时间内的相参检测.采用离散匹配傅里叶变换实现了该变换的快速算法,仿真实验验证了算法的有效性. 相似文献
70.