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41.
基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作   总被引:2,自引:0,他引:2  
采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺,实验表明,在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 h后,谐振子被完全释放,三层薄膜保护工艺对要求采用湿法刻蚀镂空释放可动结构具有较高的实用价值。最后对加工完成的谐振式压力传感器进行了初步的性能测试,结果表明,在标准大气压力下谐振子的固有频率为9.932 kHz,品质因数为34。  相似文献   
42.
在军事训练中,三维仿真的战场环境发挥了极为重要的作用。本文将对战场环境中的自由大气进行虚拟仿真。首先分析自由大气中运动分子的性质,详细介绍在模拟不规则自然现象中运用最多的粒子系统技术,最后在Vega中运用粒子系统对大气分子的运动进行模拟仿真。仿真结果能基本模拟出大气分子的运动特性,且可以通过接口编程访问粒子的属性,从而能在无人机等航迹规划的危险天气现象的规避中加以运用。  相似文献   
43.
In this paper we present a simple, general methodology for the generation of high-order operator decomposition (splitting) techniques for the solution of time-dependent problems arising in ordinary and partial differential equations. The new approach exploits operator integration factors to reduce multiple-operator equations to an associated series of single-operator initial-value subproblems. Two illustrations of the procedure are presented: the first, a second-order method in time applied to velocity-pressure decoupling in the incompressible Stokes problem; the second, a third-order method in time applied to convection-Stokes decoupling in the incompressible Navier-Stokes equations. Critical open questions are briefly described.  相似文献   
44.
针对气动锚杆钻机冲击频率不易测量的问题,提出了一种新型气动锚杆钻机冲击频率测量仪的设计方案。该测量仪采用压力传感器采集钻机冲击信号,采用电压比较器和单稳态触发器处理冲击信号并输入到单片机,由单片机计算出钻机冲击频率。实际应用表明,该测量仪可准确、方便地测量出钻机冲击频率。  相似文献   
45.
针对某矿压风机往井下输送高压空气时存在输气总管压力波动大且调节困难的问题,设计了一种基于变频调速和闭环负反馈控制的压风机恒压供风系统。该系统通过输气总管上的压力传感器采集实时压力信号,与输入压力信号比较后得到偏差信号,PLC对偏差信号进行分析和处理,并输出相应的变频器调节信号,使变频器改变压风机电动机的电源频率,从而达到调节输气总管压力的目的。实际应用表明,该系统运行稳定、可靠,实现了输气总管高压空气的恒压输送。  相似文献   
46.
Solid-liquid phase equilibria of the benzene + 2-methyl-2-propanol system have been investigated at temperatures from 278 to 323 K and pressures up to 300 MPa using a high-pressure optical vessel. The uncertainties of the measurements of temperature, pressure and composition are within ±0.1 K, ±0.5 MPa, and ±0.001 mole fraction, respectively. The freezing pressure at a constant composition increases monotonously with pressure. The eutectic point shifts to a higher temperature and benzene-rich composition with increasing pressure. In order to describe the pressure-temperature-composition relation of high-pressure solid-liquid phase equilibria, a new simple equation has been proposed as follows:
  相似文献   
47.
张涛  高永军 《铸造技术》2005,26(7):605-606
针对大型薄壁铝铸件内腔表面出现的沟槽缺陷,从差压铸造、树脂砂、铸件结构等工艺条件方面探讨了产生的机理,并通过试验和对比研究,确定排气不畅是该缺陷的首要引发因素,找到了消除该缺陷的工艺方法,提出了相关预防措施,避免了因此产生的废品损失.  相似文献   
48.
用CAXA电子图板求解冲模压力中心   总被引:1,自引:0,他引:1  
在模具设计中 ,冲裁模压力中心通常采用解析法或图解法求解。本文提出一种用CAXA绘图软件在设计制图时直接求解的方法 ,快速直接 ,简单方便 ,精度较高。  相似文献   
49.
Viscosity data over a temperature range of 37-115°C and a pressure range of 0-10 MPa gauge are presented for a Cold Lake bitumen sample. These data show that the compression of Cold Lake bitumen results in a significant increase in its viscosity. Results are compared with those from a similar study on an Athabasca bitumen sample. Also presented are two correlations for the effects of pressure and temperature on the viscosity of Cold Lake bitumen.  相似文献   
50.
研究了节涌流化床多自由度随机波动模型参数,提出了确定气栓和料栓长度的试差迭代法、床层底部的“白噪声”扰动函数和床层表面的正态扰动函数.模型模拟计算的结果对于节涌流化床波动结构的动力学特征、压力波动的频谱特征和波动的传播与衰减等与实验结果取得了较好的吻合.  相似文献   
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