BioMEMS和人体植入式生物微系统

MEMS技术在医药科学技术的一个重要应用是植入人体内的生物微系统(BioMEMS)。该系统集微传感器、微驱动器、微流体系统、微光学系统及微机械元件于一体,用于体内器官的诊断、体内器官功能修复或替代,其治疗效果确切,已成为关系本世纪医学与人类健康进步的重要领域。本文介绍了近年来不同功能类别植入式BioMEMS的发展状况,说明了MEMS工艺、方法及材料在此领域的应用。     

"一步建站"Web管理系统的探讨和实现

“一步建站”Web管理系统是指通过Web界面一次性提交用户资料，系统自动完成为上网建站用户开通虚拟服务器、进行域名解析、创建FTP维护账号及指定租用硬盘空间大小等一系列操作。同时，该系统还可对已开通的用户站点进行管理。     

基于MEMS技术的新型加速度计开发及其在故障诊断中的应用

提出了开发一种新颖电容式MEMS微加速计的思路,使其具有较宽的量程和合适的频响范围,较高的测量精度,能满足汽轮发电机组、风机和离心机等旋转机械的故障诊断技术要求.针对提出的微结构理论模型,给出了基于ANSYS有限元计算模拟结果和优化设计方法.考虑低成本制造因素,给出了硅底材料刻蚀加工的基本工艺方案.探讨了在碟片式分离机智能化故障诊断中的一体化设计及应用.     

微机电系统及其应用

1 引言请想像这样的景像，用微小的机器干各种活。有的使汽车运行更加平稳安全，免除交通事故中千万人遇难。有的则以每秒数拍（1015比特）速率处理信息，从全球网站为人们下载影视节目。另一些能以前所未有的灵敏度和精确度进行科学测量。晶片大小的化工厂则能在需要的时间和地点制造危险的材料。这样的景像现已出现：我们正生活于其中，这就是现代的硅微机械世界[1]。这个世界在40多年前就由Richard Feynman以惊人的先见所预言，当时晶体三极管仍是刚发明而未被验证的技术，集成电路则在多年后才出现。在其1959年的讲话“底层仍有许多空…     

川东地区长兴组缝洞型储层的识别

本文针对四川东部地区上二叠统长兴组(P_2~2)缝洞型储层的低孔、低渗及非均质性等特点,分析了影响这类储层识别的主要因素,提出了利用现有的地球物理测井手段定性识别储层的指标和定量综合识别储层的方法,这可望提高测试成功率。     

有线电视技术系统综述（中）

回波值系指被测系统对2T正弦平方脉冲的响应，以回波值E表示。其中T=83ns。     

MEMS运动件的芯片外机械驱动方法

研究MEMS微结构的片外机械式驱动问题,介绍了在MEMS硅芯片背面贴合一块宏观尺度PZT片的驱动思想即PZT产生机械运动,在硅固定件与微运动件之间产生动量耦合,从而驱动微运动件.重点探讨脉冲驱动、振动驱动两大类基本驱动方法及其特点,介绍国外代表性研究结果,并提出对该方法进一步研究的观点与设想.     

射频MEMS压控电容器

研究了射频 MEMS压控电容器的设计和制造工艺。压控电容器的制作采用了 MEMS制造技术 ,其主要结构为硅衬底上制作金属传输线电极和介质层 ,然后制作金属膜桥作为电容器的另一个电极。通过改变加在金属膜桥与传输线间的电压达到改变电容值的目的。这种压控电容器可以工作于射频和微波波段 ,具有很高的Q值。测试结果如下 :在 1 GHz、0 V时 Q值达到 3 0 0 ,0偏压电容值为 0 .2 1 p F,当加上驱动电压后 Cmax/ Cmin的变比约为 4∶ 1