下一代光刻开发的进展

虽然下一代光刻(NGL)技术的开发仍在继续大力开展工作，但许多人一直支持“不断延续光学光刻”的呼声。248nm光刻性能的进一步扩展，更激励许多企业界人士指望用193nm光刻来完成45nm技术节点的光刻。     

PECVD法低温沉积多晶硅薄膜的研究

在玻璃衬底上采用常规的PKCVD法在低温(≤400℃)条件下制得大颗较(直径＞100nm)、择优取向(220)明显的多晶硅薄膜。选用的反应气体为SiF4和H2混合气体。加入少量的SiH4后，沉积速率提高了近10倍。分析认为，在低温时促使多晶硅结构形成的反应基元应是SiFmHn(m n≤3)，而不可能是SiHn(n≤3)基团。     

尼山水库大坝基岩裂隙灌浆探索

1 水库概况 尼山水库位于曲阜古城东南25km处,1958年兴建。汇流面积264.1km~2,总库容1.128亿m~3。大坝长1805m,最大坝高22.2m,亚粘土均质坝。由于岩溶坝基地质复杂,工程质量差,坝基隐患多,渗漏严重,不能蓄水兴利。特别是坝前左右岸阶地经常出现塌坑,且逐年向上游坝脚逼近,形成近于垂直坝轴线的裂缝塌陷带,严重威胁工程的安全,1988年被列为全国43座重点病险库之一,1997年开始进行大坝基岩帷幕灌浆工程。     

离心式通风机轴承座漏油的解决方法

我厂旋窑生料车间选用了两台重庆某公司生产的离心式通风机,型号为Y4-73N16D,风量168000m3,全压159Pa,转速960r/min,轴功率87.17kW。两台风机的轴承箱内均用32#抗磨液压油润滑轴承,轴承端盖采用填压式密封(见图1),运     

立窑优化配料探索(连载三)

3 实践先行,验证优化配料效果 时值1995年暮春,我偕王象明赴G省H厂攻关。H厂工艺设备和管理都很不错,只因配料墨守高铁配方,熟料块块外观不差就是标号不高,想生产硅酸盐525水泥很艰难,窑的产量也不高。针对这种情     

欧洲静止卫星导航重叠服务系统（EGNOS）

近年来，随着对全球导航卫星系统(GNSS)定位精度与可靠性要求的不断提高，具有广域差分定位性能的星基增强系统迅速发展。美国的广域增强系统(WAAS)和欧洲静止卫星导航重叠服务系统(EGNOS)是两个最具代表性的系统，其中以多国合作研究，民间管理为特色的EGNOS尤为世人所瞩目。本文就EGNOS的体系结构，基本原理，关键信号处理技术与计划进展状况作了详细阐述。     

城市可燃废弃物在水泥工业中的应用

在介绍城市可燃废弃物的可用价值和使用原则的基础上，阐述了水泥工业利用可燃废弃物的特点，并以废轮胎和废机油为例说明燃烧过程和应用情况，还对水泥工业利用可燃废弃物所带来的环境、经济效益进行分析，最后对我国这项工作的试验情况作了简介。     

油井封堵注水泥一次不留管柱堵水工具

吉林油田开发到中后期,油井出水现象日趋复杂,以往的注水泥堵水技术均不能满足现状的要求。鉴于此,研制出油井封堵注水泥一次不留管柱堵水工具,并形成了水泥堵水新工艺。该工具的核心为封堵注水泥装置,由打压坐封总成、胶塞座丢手总成、注水泥器本体总成和单流定压器总成等4部分组成,具有打压坐封、注水泥、投胶塞和丢手等一次性功能。经过现场6口井的施工,无一口井发生卡井事故,施工有效率100%,成功率100%。     

钡渣中BaSO4含量的测定

我厂经过多次试验证明,钡渣不仅对水泥起到缓凝作用,而且对强度增长也具有促进作用。因此,钡渣中BaSO_4含量的正确测定,是工艺技术人员进行质量控制的一项基本要求。1 钡渣的来源 钡渣是原五通桥盐厂化工车间生产BaCl_2后的废渣,其主要工艺过程是重晶石(主要含BaSO_4)+