硅的等离子体深腐蚀

湿法化学腐蚀已被广泛地应用于敏感器件传感结构的微细加工中.近年来,在VLSI中等离子体干法腐蚀已成为获得细线条图形的可行技术.然而,干法腐蚀工艺无论是等离子体腐蚀或反应离子腐蚀,相对于湿法腐蚀来说都是比较慢的.在需要深腐蚀的应用中(如电子束光刻的对准符号刻蚀,电路隔离槽或敏感器件的微细结构腐蚀)当前都着力提高腐蚀速率.在传感器的开发中,主要问题之一是封装,为简化到处于测量环境的传感器的外部连接,希望通过传感器背面进行连接.在化学传感器中,背面连接最为有利.因为假如所有的引线都     

氮氧混合气体高压脉冲电晕放电等离子体的分子束质谱诊断研究

利用具有三级差分抽气系统的分子束质谱仪为检测手段，对N2，O2混合气体的线板式高压脉冲电晕放电等离子体阴极板区的正离子成分进行了诊断研究。实验结果表明：在放电反应室N2,O2混合气体压力1330～3325Pa，峰值电压4～10kV及放电重复频率10～100Hz范围内，N2^ 和O^ 流强相当，N^ 流强约为N2^ 流强的2～10倍，N^ 、N2^ 和O^ 流强随脉冲峰值电压、放电重复频率的升高而增大，随放电气压的变化则存在一极值。     

Preparation of Ultra—fine Aluminum Nitride in Thermal Plasma

Ultra-fine aluminum nitride has been synthesized by the evaporation of aluminum powder at atmospheric-pressure nitrogen plasma in a hot-wall reactor.The average size of aluminum nitride particle is 0.11μm measured by scanning electric mirror(SEM),and the purity is at least over90% evaluated by X-Ray diffraction(XRD).The conversion of Al powder to aluminum nitride is strongly depended on the injection of NH3.Typical experimental parameters such as the feed rate of raw material,the flow rate of ammonia and the position of injecting aluminum powder into the reactor are given.     

解决无220V供电微波站的波导充气问题

在微波传输中，波导的维护保养十分重要，为防止波导进入潮湿空气或渗漏进雨水而影响传输，必须使波导内保持一定气压的干燥空气。微波收发讯机设计气泵均为交流220V供电。当微波站采用风力发电机或太阳能供电时，则不能保证交流220V供电。使用逆变器，对于交流220V、2.4A的空气压缩机用电动机，启动电流较大、小功率逆变器带不动，大功率逆变器对蓄电池组负担较大，且不直解决。只有在开启自备柴油发电机组时，方能进行正常充气。因此，不能保证波导管内的正常气压。雨季潮湿空气易进入波导管内，造成锈蚀。高寒季节尤为室内外连接处易造…     

探究北电SDH数字微波设备参数选定的特点

详细介绍了表征ＳＤＨ体制的数字微波系统运行状况的运行参数的内涵，分析了目前数字传送网指标性建议Ｇ．８２１和Ｇ．８２６的特点，最后介绍了北电的ＳＤＨＲａｄｉｏＸ／４０的参数特点。     

辽河油田CATV300MHz传输系统总体设计方案

辽河油田电视台CATV系统始建于1985年，86年正式开通联网，信号远距数字微波传送，中距离光纤，近距离同轴电缆传输，覆盖辽河油田整个矿区的7．5万电视用户。系统具有大型前端一座，分中心前端38个。中心前端位于盘锦市兴隆台区，拥有直接电视用户2万多个。系统传送七套彩色电视节目。系统联网见图1。     

微波介质谐振器介电参数的测量

本文讨论了微波介质谐振器介电参数测试技术。用研制的测试装置对多个介质样品进行了实测，结果表明，本文的分析与实际值是吻合的。该测试技术可对微波介质谐振器的复介电常数进行迅速、准确、可靠、宽频带、无损伤、自动化和批量检测，具有较强的实用性。     

SiH4激光等离子体内H谱线的线型研究

本文利用OMA-Ⅲ系统测量了脉冲TEA CO_2激光诱发的SiH_4等离子体发光谱内H巴耳末系的H_α、H_β和H_γ线的线型及线宽。通过理论及实验分析,认为这些谱线的主要加宽机制为Stark加宽。由实验线型和理论线型的拟合得到等离子体的电子温度T≈40000K和电子密度N≈10~(17)cm~(-3)。