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以四甲基硅烷(TMS)为原料,经氯磺酰化和氨化反应合成了三甲基硅甲烷磺酰胺(TMSMSA)。氯磺酰化反应的产率为53%,氨化反应的产率为33%。m.p.、IR、HNMR 的测定数据表明产物为标题化合物。 相似文献
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一、引言 金属有机化学气相淀积法(简称MOCVD法)是1968年由H.M.Manasevit等首先提出的。该法以挥发性金属有机物和气态的非金属氢化物作为源材料，采用与硅外延淀积相类似的生长装置，进行化合物半导体的外延淀积。 相似文献
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张连杰 《冶金设备管理与维修》2006,24(2):30-30
对唐钢二炼钢厂氧抢传动系统配套安装的氧枪到渣器在使用中出现的问题进行了详细介绍．并介绍了刮渣器的改造原因及经过，延长了氧枪的使用寿命。 相似文献
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本文介绍了 ASTM 标准关于估价硅多晶的取样方法、区熔工艺、近似假设和理论计算公式,加深了对 ASTM 标准的理解,有利于在大直径多晶硅 P、B 检验中应用此标准。对于小直径硅多晶,则宜采用国标,沿硅芯方向取样。本文经过理论分析,发现按国标二次气氛区熔检磷,在 X=0.8处具有-3.6%的偏差.按国标检硼,最终分布在 X=0.6处有-2.6%的理论偏差. 相似文献