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为了提高液氨注施机的工作质量和自动化水平,研制了工况自动监控报警系统及注施量数显系统。该系统利用流量传感器,采用了单片微机AT89C52对工作状况进行监控和注施量的数字显示。实践证明,该液氨注施机监控功能强,可靠性高,具有广泛的使用前景和推广价值。 相似文献
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本文描述注氧机在制作SOI(SIMOX)材料时,注入过程对顶层硅中产生粒子污染的影响。结合SIMS测试结果,从光路结构,电器参数、靶室等方面阐述粒子污染的机理,并提出相应的解决措施。 相似文献
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半导体放电管是一种瞬态过压保护器件,广泛应用于通讯、铁路等行业。为了提高半导体放电管注胶工艺的自动化水平,给出了一种半导体放电管定量自动注胶装置的设计。该装置能够按需调节供胶量,供胶过程中能够自动去除绝缘胶中所混有的气泡,并具有注胶装置自动清洗的特点。该装置的设计解决了半导体放电管涂胶工艺中的关键性技术难题,实现了不同规格放电管的定量自动注胶。 相似文献
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多注速调管技术的新进展 总被引:11,自引:1,他引:11
系统地介绍了多注速调管的工作原理、主要特点和发展概况。比较详细地分析了俄罗斯、中国和法国等国研制的多注速调管的主要性能指标和技术特点,分析了多注速调管研制中遇到的关键技术问题;讨论了多注速调管技术的发展趋势和应用范围。 相似文献
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