Al0.98Ga0.02As的湿法氧化规律

为实现精确控制VCSELs器件中氧化孔的大小,对Al0.98Ga0.02As的湿法氧化规律进行了分析研究.首先运用一维Deal-Grove模型分析了Al0.98Ga0.02As条形台面湿法氧化的一般规律,并在此基础上进一步分析推导,加以适当的简化,提出了适用于二维圆形台面的简单氧化模型,用此模型模拟得到的结果与实验数据十分吻合.同时,实验中观察到氧化孔径很小时氧化速率突增的现象.运用这些规律,将氧化长度的精度控制在0.5μm内,基本实现了氧化工艺的可控性及可重复性.     

InGaAs(InAlAs)/InP和InP/InAlAs湿法选择腐蚀研究

介绍了两种选择腐蚀液对InGaAs(InAlAs)I/nP和InPI/nAlAs异质结构材料选择腐蚀的实验结果,重点介绍在InAlAs上面生长InP的湿法选择腐蚀,用HClH∶3PO4C∶H3COOH系列腐蚀液,InPI/nAlAs选择比大于300。InPI/nAlAs湿法选择腐蚀的结果可以很好应用到OEIC芯片制作中,并取得了较好的器件及电路结果。     

湿法腐蚀DFB半导体激光器的均匀光栅的研究

论述了用湿法腐蚀电子束光刻的均匀光栅DFB激光器亚微米光栅的过程,研究了几种腐蚀液对半导体激光器外延材料中InP的腐蚀过程.用扫描电子显微镜(SEM)对其腐蚀情况进行了分析,通过调节腐蚀液HB1:HNO3:H2O的体积比,找到了对InP腐蚀的最佳配比(1:1:30)以及合适的腐蚀条件(室温23℃).利用这种腐蚀液得到的光栅图形可以满足DFB激光器的要求.     

改造湿法硬质纤维板生产线的设想

众所周知,湿法生产硬质纤维板,消耗大量清水,产生几乎同样数量的污水,而且只能生产一面光的产品,板的厚度也受到限制。目前用水日益紧张,环保日渐受人重视,硬质纤维板的生产为我国木材综合利用作出了突出贡献,但是当今人们对板材规格、质量要求越来越高,湿法硬质纤维板满足不了当前的技术要求。为此,我们提出如下改造方案。 方案一:半干法真空喷射热压生产两面光纤维板 用干法生产纤维板可以克服湿法的缺点,但干法也有自己的缺点。例如施工量大,     

最大振荡频率为200 GHz的蓝宝石衬底AlGaN/GaN HEMT

本文报道了fmax为200GHz的基于蓝宝石衬底的AlGaN/GaN 高电子迁移率晶体管（HEMT）。外延材料结构采用了InGaN背势垒层来减小短沟道效应,器件采用了凹栅槽和T型栅结合的工艺,实现了Ka波段AlGaN/GaN HEMT。器件饱和电流达到1.1A/mm,跨导为421mS/mm,截止频率（fT）为30GHz,最大振荡频率（fmax）为105GHz。采用了湿法腐蚀工艺将器件的Si3N4钝化层去除后,器件的Cgs和Cgd减小,器件截止频率提高到50GHz,最大振荡频率提高到200GHz。     

浅谈金川高冰镍传统精炼工艺技术改方案和镍产品结构调整

论述了金川有色金属公司现行高冰镍精炼工艺技改的必要性。在综合国内外高冰镍精炼技术的基础上,结合金川有色金属公司的实际,重点阐述了高冰镍硫酸湿法精炼和氯化精炼工艺的优缺点。指出,现行高冰镍精炼工艺的改造应吸取氯化精炼和硫酸湿法精炼两种工艺的长处,稳妥地向高冰镍全湿法精炼过渡。文中还对该公司镍产品结构调整提出看法。     

稀硫酸用于生产湿法磷酸的技术经济性

稀酸是以硫铁矿为原料采用稀酸洗净化工艺生产硫酸时得到的副产品。国内不少厂将其与93％H_2SO_4混酸成76％H_2SO_4用于生产普钙,部分厂由于综合利用困难,采用石灰中和法处理。由于目前产品硫酸大量用于生产湿法磷酸,本文探讨将稀酸用作萃取磷酸生产的技术经济性。     

高pH值石灰湿法锅炉烟气脱硫除尘系统优化设计

石灰湿法是脱硫除尘最经济实用的方法之一,其在工业当中运用广泛,但石灰湿法脱硫除尘存在很多问题,例如:管道系统结垢、喷头堵塞磨损严重等。为降低管道系统结垢堵塞的情况,本文简要阐述了锅炉烟气脱硫除尘系统设计方法。     

缺陷问题驱动浸没光刻技术发展

涂层的应用导致晶圆上缺陷的增加或者使光刻表现发生变化虽然现在推测浸没光刻技术的量产时间还太早,但是许多公司正在努力确定生产线何时能从干法工艺跃为湿法工艺。根据最近在San Jose举办的     

与金属兼容的离子注入光刻胶去除剂

本文介绍了一种全湿法,高活性的光刻胶去除溶剂,可以去除注入硬化的光刻胶,并具备对金属的兼容能力。