电调整微蚀刻

评述了采用电调整微蚀刻试验表明,它适用于各种各样的线宽和间距的精细导线的制造。比起常规喷射蚀刻工艺来,其侧蚀小、蚀刻因子和tanθ高的效果。     

浅谈纸浆漂白技术的发展

人们日益增强的环保意识和各国日益严格的环保法规在促进造纸工业漂白技术巨大发展的同时。大大减少了漂白废水对环境的污染。本文概述了近年来纸浆漂白技术方面的一些新进展。指出了我国纸浆漂白的发展趋势。     

微制造平台微振动的最优控制

采用混合隔振技术建立了微制造平台隔振系统。该系统以空气弹簧和橡胶层作为被动隔振元件、超磁致伸缩致动器作为主动隔振元件，并采用最优控制理论设计其主动控制器。研究了在不同的性能指标加权阵的情况下，该主动振动控制系统对基础干扰和由微制造设备产生的直接干扰所引起的微制造平台振动的控制效果。研究表明性能指标加权阵对振动控制效果影响非常大。通过大量的仿真实验确定了一组性能指标加权阵，使所设计的主动控制系统能在较宽的频率范围对基础干扰和直接干扰所引起的微制造平台振动进行有效的控制。     

加利福尼亚微设备公司静电释放保护产品

加利福尼亚微设备公司推出CM1213和CM1214 PicoGuard超低电容静电释放（ESD）保护产品。CM1213用于保护电脑，外围设备和消费电子产品的高速输入/输出端口。该产品以低电容（IpF)和高集成度（单一包装内多达8个通道），为每个IEC61000-4-2 Level 4规格提供8kV的接触保护。     

大量需求的反应加速剂：新的催化剂优化化学过程

催化技术和催化过程的进展在ACHEMA2003上被视为重要的话题。因为催化剂是典型的反应加速剂，所以被称为化学过程的马达。在展览会以及在此期间举行的国际学术会议上．对催化剂的最新进展进行大量的讨论。     

微机械热对流倾角仪温度补偿技术研究

介绍了微机械热对流倾角仪的工作原理和结构设计,利用有限元分析软件,计算了在不同倾斜状态下二维密闭腔中点热源引起的对流场和温度场,提出了环境温度对热对流倾角仪影响的模型。根据仿真结果,在电路中增加了加热丝恒定温度控制电路,建立了基于软件的环境温度补偿算法,实现了对温度影响的补偿。经测试,环境温度从-40℃变化到60℃时,倾角仪0°输入的温度稳定性为0.07°,10°输入的温度稳定性为0.02°。     

德日合作项目

德国Fraunhofer组织，因其国内市场发展太平缓，现正在全世界寻求更多的发展机遇。现与日本东北大学刚签定一个新的合作项目，其联合的目的是为日本的中小企业开发微机电系统（MEMS），微机电系统通常采用由金属注射成形与陶瓷注射成形制造的微小零件。在日本仙台市正在建立一个新的科技园，专为中小企业设计、制造与开发应用微机电系统。     

高导电性原油电脱盐工艺研究

南阳原油中金属含量较高,掺有部分3次采油采出原油,加工时易造成电脱盐装置原油乳化,电导率高,脱盐难度较大。装置投产十几年来脱后含盐一直不合格,经过改造仍然超标,常压塔顶腐蚀严重。为此,对原油进行了电脱盐工艺条件及破乳剂研究,研制出了高效电脱盐设备和生物复合脱盐剂及降电流剂,采用平流弓形电极进行改造,解决了该原油的电脱盐问题,使脱后含盐达到3 mg/L。     

一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析

通过厚胶光刻工艺在硅片上制备SU-8胶模板，利用该模板制备了高分子聚合物PDMS(Polvdimethvlsiloxane，聚二甲基硅氧烷)微流道和薄膜结构。通过对不同结构的两层PDMS的不可逆粘接得到一种简单的阀结构，在外加气源压力作用下薄膜产生变形实现对微流道的控制。实验测量了微阀的控制气源压力与被控制液体流量之间的关系，说明膜阀的开闭性能良好。根据弹性薄膜的变形理论，对影响微阀性能的参数进行了分析，并提出了几种可行的用于薄膜微阀控制的方法。