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纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风,采用了硅微机械技术,且实现了麦克风电容两电极之间的自对准,大大提高了麦克风的生产效率,降低了成本.纹膜结构有降低和消除膜内应力的作用,而纹膜的三维结构使麦克风电容的有效面积有所增加,这些都显著地提高了麦克风的灵敏度,是该项新结构的关键.本文从理论和实验上对纹膜结构机械性能与结构尺寸参数之间的关系,及结构的优化进行了研究.通过对制作出的不同结构参数q值的麦克风的测试,得到了与初步理论分析基本相符的实验结果.实验证明,纹膜结构具有比相应的平膜结构高得多的机械灵敏度和麦克风 相似文献
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一、问题的提出 C41—750kg空气锤缸体铸件,是我厂生产的各类铸件中最复杂的一种,该件外形尺寸为2300×1500×870毫米,材质为HT200,毛坯重6.5吨,工作缸与压缩缸要求硬度值为HB170~241(测试点分别在壁厚为45毫米的两缸双点划线内,如图示)。 相似文献
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氢电弧等离子体法制备的纳米镍铈粒子的催化特性 总被引:3,自引:0,他引:3
利用氢电弧等离子法制备具有储氢特性纳米镍铈粒子,并在气相苯加氢反应中研究了其催化特性,发现其催化活性与储氢特性及表面层中NiCe合金存在有关,且具有高的选择性和热稳定性,这与纳米粒子独特的结构及铈的加入有关。 相似文献
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NaY晶化母液制备硅铝胶的技术探讨 总被引:3,自引:0,他引:3
在导向剂法合成Y型分子筛的工艺下,晶化母液中SiO2的含量为50~55g/l,Na2O含量为20~25g/l,相当于模数为1.65~2.58的稀水玻璃,将晶化母液分离处理后,在晶化母液中加入一定量的硫酸铝溶液使硅沉淀,经过滤和水洗后即可制备出合格的硅铝胶,以便进行重新利用。 相似文献
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