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本文综术了集成电路工艺的Cu布线中Cu薄膜化学气相沉积(CVD)的研究背景,详细介绍了CVD生长Cu金属薄膜的国内外研究进展及CVD对前趋物的要求,并对前趋物的一些物理、化学性质进行了总结,最后,对薄膜沉积的计算机摸拟作了简要介绍。 相似文献
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合成了一价铜和2-巯基嘧啶盐的配合物[Cu6(pymt)6]并进行结构分析,该配合物能发出强的红色荧光。其中,一价铜离子的配位环境为变形平面三角形,陪体pymt采用μ3-S2N桥联方式参与配位。 相似文献
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研究了经溶液共混制备的聚对苯二甲酸乙二醇酯/聚碳酸酯(PET/PC)共混物的辐射效应。结果表明:PET/PC共混物在辐照过程中未发生酯交换反应和交联反应,但有降解反应发生。在研究的剂量范围内,辐照对PET/PC共混物中PET和PC的晶体形态影响不明显。 相似文献
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研究了HIPS/PC共混物的相容性及HIPS-MA对HIPS(30)/PC(70)共混物的相容性、形态和拉伸性能的影响。DSC研究结果表明,HIPS/PC共混物中PS的玻璃化转变温度(Tg)不随组成而变化,而PC的Tg随其质量分数的降低逐渐向低温移动,说明HIPS/PC是部分相容体系。通过DSC、扫描电镜形态观察和拉伸性能测试结果发现,当HIPS-g-MA的含量低于7.5%时,共混物的相容性改善不明显,当其含量达到7.5%时,对共混物有明显的乳化作用,说明饱和的界面浓度在7.5%左右。HIPS-g-MA接枝共聚物在HIPS(30)/PC(70)共混物中的增容作用可能是酯交换反应原位生成的嵌段共聚物所致。 相似文献