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CMP系统技术与市场 总被引:3,自引:1,他引:2
葛劢冲 《电子工业专用设备》2003,32(1):17-24
概述了CMP系统技术的发展历史、发展趋势以及在IC生产中的重要性,介绍了国外CMP设备主要制造厂家的设备型号和性能及CMP设备市场分布和需求,阐述了CMP系统技术的基础研究、关键技术和国内研究概况。 相似文献
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以正硅酸乙酯、钛酸正丁酯和聚乙二醇等为主要原料,采用溶胶-凝胶法成功合成了多孔SiO2-TiO2系块状材料。500℃焙烧2h后材料呈现非晶态结构。引入较多钛量时,使材料的孔径分布变窄、平均孔径下降,但增加了比表面积。在80℃热水中浸泡72小时以后,吸附一脱附曲线的类型和形状几乎没有变化;随着Ti含量的增加,比表面积和孔容积的变化率减小。多孔材料在98℃的20%硫酸溶液中重量损失率随Ti含量变化不大,Ti引入并不能提高材料在酸液中的耐蚀性;但引入Ti使多孔材料在95℃NaOH碱液中的耐蚀性明显改善。 相似文献
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日本住友化学公司使用一种新型的氧化方法从副产氯化氢中回收氯气,回收率高于99%。这一回收率大大高于传统工艺所得到的回收率。该工艺使用负载在金属氧化物上的氧气和贵金属催化剂在汽相中氧化HCl。反应在250~350℃和几个巴的压力下进行。反应得到的氯气用浓硫酸脱氢,然后通过系列液化和汽化精制。将未转化的HCl气体循环到反应器中。住友公司已在一所异氰酸酯工厂许可了该工艺,氯气的回收装置规模为100kt/a。日本开发一种回收氯的新工艺@郑元昌 相似文献
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我们知道,汽车发动机启动时,一个充足电的12V蓄电瓶的电压也会跌落到8.5V以下,如果电池容量不足,其电压还会跌落到6V左右。这时,当白金触点闭合时,点火线圈初级要保持足够的次级点火电压,只有吸收更大的电流来储存能量,但由于初级电感量是一个定量值,在单位时间内又阻止了电流的增加。可见,电压的高低才是决定点火强度的主要因素。如果启动电压过低必然会降低点火强度。点火强度不够,则发动机难以启动,容易导致触点烧蚀。本文介绍的汽车通用点火电压提升器模块可以很好地与白金触点点火系统及车辆通用白金触点电子转换器系列产品配合使用,… 相似文献
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HRB335螺纹钢表面裂纹成因分析 总被引:1,自引:0,他引:1
用高、低倍和化学检验分析方法,对341-6052螺纹钢的表面裂纹进行了分析,发现螺纹钢表面裂纹,是由于炼钢中包和冶炼原材料烘烤不够干燥,连铸方坯上出现的皮下气泡所致。 相似文献
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总结了江汉采油工艺30年来取得的成就,重点介绍了近年来研究并成功应用的具有江汉特色的采油工艺技术,展望了江汉采油工艺的发展方向。 相似文献