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将聚酰亚胺作为绝热材料,对传统室温微测辐射热计结构进行了改进,成功制备了非晶硅室温微测辐射热计并进行了测试。以聚合物材料作为绝热材料,避免了表面牺牲层工艺和体加工技术,降低了成本、提高了成品率。在传统探测器结构基础上,在底部制备一层金属用作红外反射层,利用吸收层可以对红外辐射进行二次吸收。金属层和有源层间的隔离层对红外也有很好的吸收效果,由隔离层、有源层和钝化层构成三明治结构,可以显著改善对红外辐射的吸收。对器件的制备工艺进行了说明并对器件特性进行了测试,结果表明,在773 K黑体源8~14 μm红外辐射下,探测器的响应度最大为26.4 kV/W,表明器件具有较高的性能。 相似文献
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日本东京大学的一个研究小组已研制出一种利用掺杂AlGaAs/GaAs异质结中的二维电子回旋共振的远红外光学探测器。该器件用一种叫做霍耳条(Hallbar)的结构制备,其在4.2K时的响应率为1.1×10~7V/W,比市场上出售的测辐射热计高1000倍。峰值探测率达 相似文献
326.
本发明提供一种红外气体探测仪器,该仪器内部装有一个用于传导电流和产生红外辐射的光谱源/测辐射热计组件。该光源/测辐射热计组件排列在一条轴线上,它有一个温度和一个特性电阻,特性电阻是温度的一个预定函数。该仪器还包括一个聚光反射器,这 相似文献
327.
应用标准CMOS工艺制作了横向多晶硅p p-n 结,对其正向电流-电压的温度特性进行了理论分析和实验研究.实验结果表明:横向多晶硅p p-n 结的理想因子为1.89;在室温附近(T=27 ℃),恒定的正向偏置电流(1 μA)工作条件下,横向多晶硅p p-n 结正向压降的温度变化率约为-1.5 mV/K,与理论计算值相吻合;并且应用横向多晶硅p p-n 结正向压降的温度特性,研制成功非致冷红外微测辐射热计, 其黑体响应率Rbb(1 000 K,10 Hz)=4.3×103V/W. 相似文献