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采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
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油气吸收回收系统的研究及工业应用——(Ⅰ)中型试验及结果分析 总被引:12,自引:1,他引:11
在蒸发油气吸收回收技术小试研究的基础上,开发出常温常压吸收法油气回收中试装置,并利用已开发的吸收剂AbsFOV-97进行了中试试验。结果表明,当系统进料气、吸收剂AbsFOV-97、汽油的体积流量比为10.0:1.0:0.5、真空泵解吸压力小于13.3kPa时,系统回收率高达97%以上,高于设计指标,且回收汽油的质量满足使用要求。统计数据表明,油气回收系统进料气、尾气中平均油气摩尔质量分别为65.51、48.97g/mol,该值可为油品蒸发损耗及其控制技术的评价提供参考。 相似文献
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C.-W.Jang J.-C.Juang F.-C.Kung 《战术导弹技术》2003,(1):58-63
给出了一种GPS卡尔曼滤波的自适应方案,该方案能根据GPS导航中变化的动态来估计协方差.当增强卡尔曼滤波器时,方案可得到更精确的定位修正.此外,也可将此估计方法用于完整监测,以增强故障检测的阈值选择.采用模拟数据验证了提出方法的正确性. 相似文献
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随着“关注气象、关注生活、关注健康”的思想逐步为大家所接受,气象服务已经成为与人们日常生活密切相关的事情,而获取气象服务的渠道也成为影响人们及时了解气象信息的重要因素。电视、广播和报纸是我们通常获得信息的方式,但是随着移动通信技术的发展,在手机短消息上提供气象服务正以其“方便、及时、易用”的优点迅速成为一种新的发布方式。山东省气象台利用手机短消息作为发布渠道,在山东全省推出 相似文献
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本文介绍近年来为了适应高速和大容量光纤通信系统中高密度和高效率的互连布线的需要 ,日本住友和藤仓两家公司在 MT/MPO光纤连接器方面所进行的研究开发工作。研究重点在这些连接器中的关键部件MT套筒的改进。采用了注塑成形的 PPS新材料来制造套筒 ,以取得超低而稳定的介入损耗 ;提出了在连接端面附近的导引孔周围打倒角 ,以改善反复接插的耐久性。引入了最大达 16芯的单维 MT连接器和最大达 6 0芯的 2 -维阵列 MT连接器 ,以代替用多个 12芯 MT套筒的大芯数连接器 ,显著增加了光纤密度。开发了 2 -维阵列 MT连接器用的 2 4芯扁光纤带光缆代替圆光缆。文章介绍了这些新开发的产品的光学、机械和环境等方面的各项性能 相似文献