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剪切增稠抛光磨料液的制备及其抛光特性 总被引:1,自引:0,他引:1
为了实现对工件的剪切增稠抛光(STP),采用机械混合与超声波分散法制备了一种Al2O3基STP磨料液,并研究了它们的抛光特性。利用应力控制流变仪考察其流变性能,通过扫描电镜和光学轮廓仪研究了单晶硅加工后表面显微组织的变化,并测量其表面粗糙度。结果表明:STP磨料液具有剪切变稀和可逆的剪切增稠特性,达到临界剪切速率后,会形成Al2O3"粒子簇";当剪切速率增大至1000s-1,储能模量,耗能模量和耗散因子都增至最大值,此时主要表现为类似固体的弹性行为,有利于形成类似"柔性固着磨具"。在STP加工单晶硅过程中,采用塑性去除的材料去除方式。随着抛光时间的延长,硅片去除速率先增大后减小;表面粗糙度不断减小并趋于稳定。实验显示,磨粒浓度不宜过高,否则会因剪切增稠效应造成黏度过大,导致流动性差而影响抛光质量。当Al2O3质量分数为23%时,抛光25min后,硅片表面粗糙度Ra由422.62nm降至2.46nm,去除速率达0.88μm/min,表明其能实现单晶硅片的高效精密抛光。 相似文献
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为了获得单晶硅片化学机械抛光过程中护环对接触压强分布的影响规律,根据有护环化学机械抛光实际出发,建立了抛光过程的接触力学模型和边界条件,利用有限元的方法对有护环抛光接触状态接触压强分布进行了计算和分析,并利用抛光实验对计算获得结果进行了验证;获得了硅片与抛光垫间的接触表面压强分布形态,以及护环几何参数对压强分布的影响规律;结果表明护环抛光接触压强的分布也存在不均匀性,而且在硅片外径邻域内接触压强最大,这些也能导致被加工硅片产生平面度误差和塌边,选择合理地护环几何参量和负载比,可以改善接触压强场分布的均匀性。 相似文献
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基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘,能够在PZT驱动器的作用下改变面形,用于中小口径非球面镜加工。一个口径100mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光磨盘已经试制完毕,用于一个口径350mm、k=-1.112155、顶点半径R=840mm双曲面镜的加工实验。为研究PZT压电陶瓷驱动器迟滞效应对非球面能动抛光盘输出面形的影响,实测各PZT压电陶瓷驱动器的电压位移特性曲线,用基于径向基函数的神经网络算法建立各PZT压电陶瓷驱动器位移输出特性的数学模型并实施补偿,实测各PZT压电陶瓷驱动器迟滞补偿前后的位移输出值。最后利用有限元分析方法,得到迟滞补偿前后非球面能动抛光盘的输出面形,以及剩余残差RMS相应分别为1.910um、0.342um。通过补偿各PZT压电陶瓷驱动器的迟滞效应,非球面能动抛光盘输出面形精度得到了提高,剩余残差RMS减少了82%。 相似文献
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如今模具的重要性日益凸显,模具质量和制造水平都亟待提高。高速加工技术是先进制造技术的共性基础技术,其插补功能强大、配套完善、控制可靠、可自动换刀,尤其适用于自由曲面的加工。本文从模具材料,模具复杂型面加工,模具制造周期及抛光,高速加工在我国的应用以及国内外的研究进展等方面结合高速加工的特点综合考虑,探讨了高速切削实现注塑模具切削及抛光同机复合工艺的优势和可能性。 相似文献
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Sung-Ki Lyu Katsumi Inoue Gang Deng Masana Kato 《Journal of Mechanical Science and Technology》1998,12(2):206-214
This paper deals with effects of surface treatment on the bending fatigue strength of SCM415 carburized spur gears. The test
gears are treated by the combination of shot peening, chemical polishing and electropolishing after carburization. The fatigue
tests demonstrate that the strength is sensitive to the surface condition of tooth fillet and the removal of the nonmartensitic
layer caused by decarburization is considerably effective in enhancing the strength. In the first part of this paper, the
influence of surface treatments such as shot peening, chemical polishing and electropolishing on the strength enbancement
for carburized gears are summarized and discussed. In the second part, the crack lengths are calculated from the fatigue test
results for the carburized and surface-treated gears, and the effect of surface treatments is discussed from the view point
of fracture mechanics. 相似文献
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工件在电镀前抛光是一道费工费时的工序,我们利用电解、液体磨料冲刷复合抛光工艺,可及时去除电解过程中在工作表面产生的钝化膜,提高电解抛光质量和速度,降低劳动强度,此工艺特别适用于批量较大、表面形状较复杂的零件的抛光。 相似文献