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使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。 相似文献
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AT89C51单片机在电话远程控制器中的应用 总被引:6,自引:0,他引:6
设计以AT89C51单片机作为控制核心的电话远程控制器,重点介绍该控制器的各模块组成、原理及具体实现的电路,该控制器采用现有的电话线路进行通信,无需重新布线且通信距离不受限制,经实际运行表明,该控制器具有运行可靠、成本低、操作方便,适用性强的特点、可以广泛应用于城市社区,具有较大的推广价值。 相似文献
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掺铒碲基光纤放大器最新研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
掺铒碲基光纤放大器(EDTFA)由于能同时在C L波段(1530-1610nm)或L波段(1580-1620nm)对光信号进行有效的放大,目前已成为通信领域内竞相开发的一种新型宽带光纤放大器,为此简单介绍了该放大器的研究历程,综述了其最新研究进展和应用情况。 相似文献
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Preparation and properties of nano-sized SnO2 powder 总被引:2,自引:0,他引:2
1 INTRODUCTIONSnO2isoneofthemainmaterialsusedingassensor.Becauseofthehumidityandgassensingfunction,itattractsmoreandmoreattentions.Butthepresentproblemishowtoimprovethestabilityandsensibilityofgassensor.Researchershavetakenmanymeasurestoresolvethisproble… 相似文献
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