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DavidW.Price ToddHenry RobertFiordalice 《电子工业专用设备》2005,34(3):38-45
监控和消除隐藏的电路缺陷已成为130nm和130nm以下器件的关键。这使得电子束检查正在广泛应用于开发、试生产和量产的监控过程。我们将描述当前铜逻辑和晶圆代工厂电子束检查技术的执行情况,其中包括详细的案例研究,它说明了从开发到量产过程中应用电子束检查技术的好处。我们也描述了过去克服通用工具障碍的方法。然后,分别介绍了利用电子束检查技术的新进展,以及为假设的20000WSPMφ300mm工厂模拟的最理想执行情况的最佳实例。 相似文献
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文章通过对电子信息工程技术的日常应用及现状分析,得出当下电子信息工程技术发展所遇问题,并从实际需要出发提出相应的安全管理建议,希望能为电子信息工程技术的发展作出贡献。 相似文献
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本文简述了美英等国及我国在坝工安全管理法制建设的历史,说明大坝安全管理的重要性.回顾我局大坝安全监控中心成立以来,对局属水电厂大坝安全管理走上正规化、规范化、制度化所进行的工作;总结局属水电厂大坝安全首轮定检的过程与主要经验并对今后工作提出建议. 相似文献
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文章对带有外观检验功能的TO-252晶体管全自动测试/打标分选机的工作原理、软件和硬件设计进行详细介绍。该设计中首次引入测试推管机构,以解决因TO-252管脚太短、产品管脚与金手指接触不良引起的产品电参数测试误测问题;同时,在生产流程中引入外观检验工位,对测试、打标后的产品打标内容和管脚外型尺寸进行自动检验,很好地避免了成品中出现外观不良的产品。实践证明,该机具有自动化程度高、运行高速可靠、操作安全方便、维护简单、性价比高等优点,客户使用后反映良好。 相似文献
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提出的微型变倍微形貌观测镜光学系统是以微型内窥观测系统作为整个系统的前固定组、以变倍组和补偿组构成双组元全动型变倍系统,以CCD作为固定像平面的观测系统。利用高斯光学计算公式建立了系统的数学模型,计算了变焦透镜组的运动曲线。选定了该系统初始结构,进行了像差优化计算,给出了像差曲线和最终的设计数据,符合像差要求。该系统具有3种应用形式,整个系统是连续变倍内窥式微形貌观测镜,其前固定组是内窥式微形貌观测镜,其变倍系统是连续变倍微形貌观测镜。变焦范围6×~16×,分辨最小细节可达2.5μm左右。 相似文献
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随着我国科学技术的不断发展和污水处理工艺要求的不断提升,大量在线仪表的广泛应用和普及推动了当下污水处理过程中的自动化控制水平.本文主要结合工作实践对污水处理厂在线仪表的日常管理和维护进行简单分析和总结. 相似文献