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81.
Xiang Lu S. Sundar Kumar Iyer Jin Lee Brian Doyle Zhineng Fan Paul K. Chu Chenming Hu Nathan W. Cheung 《Journal of Electronic Materials》1998,27(9):1059-1066
We have demonstrated feasibility to form silicon-on-insulator (SOI) substrates using plasma immersion ion implantation (PIII)
for both separation by implantation of oxygen and ion-cut. This high throughput technique can substantially lower the high
cost of SOI substrates due to the simpler implanter design as well as ease of maintenance. For separation by plasma implantation
of oxygen wafers, secondary ion mass spectrometry analysis and cross-sectional transmission electron micrographs show continuous
buried oxide formation under a single-crystal silicon overlayer with sharp Si/SiO2 interfaces after oxygen plasma implantation and high-temperature (1300°C) annealing. Ion-cut SOI wafer fabrication technique
is implemented for the first time using PIII. The hydrogen plasma can be optimized so that only one ion species is dominant
in concentration and there are minimal effects by other residual ions on the ion-cut process. The physical mechanism of hydrogen
induced silicon surface layer cleavage has been investigated. An ideal gas law model of the microcavity internal pressure
combined with a two-dimensional finite element fracture mechanics model is used to approximate the fracture driving force
which is sufficient to overcome the silicon fracture resistance. 相似文献
82.
Thin-layer carbon supported Nafion-H catalysts were found to be active and highly selective (S>98%) for the partial oxidation of C1-C3 alkanes, in a three phase catalytic membrane reactor (3PCMR), under mild conditions and in the presence of H2O2. The influences of the catalyst teflon loading and H2O2 concentration on the reaction rate have been evaluated. A reaction pathway, based on the electrophilic hydroxylation of the C-H bond of alkanes with protonated hydrogen peroxide (H3O
2
+
), is discussed. 相似文献
83.
M. Saaoudi E. Chassaing M. Cherkaoui M. Ebntouhami 《Journal of Applied Electrochemistry》2002,32(12):1331-1336
Electroless NiP films, with 12 to 16 wt % P, were deposited from a moderately acid solution. Thermogravimetric analysis indicates the presence of occluded hydrogen in the layers, which desorbs upon heating. The amount of incorporated hydrogen decreases when the pH of the solution or the nickel sulfate concentration is increased; by contrast it increases with hypophosphite concentration. Cyclic voltammetry, using an electrochemical quartz crystal microbalance, confirms the existence of parasitic reactions, namely the reduction of protons of the solvent during the cathodic process and oxidation of hydrogen during the dissolution of the layers. This behaviour is in qualitative agreement with the proposed reaction scheme. 相似文献
84.
本文简要介绍了国外在开发超酸性气体过程中遇到的材料选择、腐蚀监测、水化物堵塞、超酸性气的处理和加工等问题所采取的措施和办法。 相似文献
85.
过氧化氢爆炸事故浅析 总被引:6,自引:1,他引:5
通过两起过氧化氢(双氧水)爆炸事故,分析了过氧化氢由于本身具有较大的潜能,很不稳定,当受热、泄漏、撞击、摩擦时,易分解放热产生高温,造成火灾爆炸事故,对火灾爆炸反应过程与爆炸机理进行了探讨。 相似文献
86.
Lamellar zinc pigment reacts in aqueous alkaline media (e.g., water-borne paints) with the evolution of hydrogen. This corrosion reaction can be inhibited by 2-nitrophenol (2-NP), 2,4-dinitrophenol (2,4-DNP), 2-hydroxy-3,5-dinitro-benzoic acid (HDNBA) and 2-hydroxy-3-nitro-benzoic acid (2-H-3-NBA) which all have a nitro-group ortho to a hydroxy-group; this structural part of the inhibitors can be considered as a potential chelating group which may explain the corrosion inhibiting effect. As a rule, with triethylamine (TEA) as neutralizing agent corrosion inhibition is slightly better when compared to dimethylethanolamine (DMEA). With TEA there is complete corrosion inhibition with addition of 2,4-DNP at pH 8 and 10; with 2-H-3-NBA there is complete inhibition at pH 10. 相似文献
87.
HIC是腐蚀试验中常用的检测方法,用来测评材料在含硫化氢环境中对氢离子敏感性大小.其包含两种不同的腐蚀介质,不同的腐蚀介质中酸碱度是不一样的,腐蚀介质的酸碱度对试验结果有较大的影响,为此,运用电离平衡理论,计算并分析两种不同腐蚀介质电离平衡前后的氢离子浓度变化,得出动态反应平衡时氢离子浓度的关系式,从而获得介质中精确的氢离子浓度,并对腐蚀介质中相关离子进行了探讨,为进一步探究相关环境中的腐蚀机理提供了依据. 相似文献
88.
本文介绍一种运用光纤干涉仪及其准外差检测系统对氢气分压强的检测方法。在光纤Mach-Zehnder干涉仪的传感臂上粘接一段长为3cm、厚为100μm的钯片,形成传感元。实验可检测到5×10~2Pa的氢气分压强。 相似文献
89.
90.
催化裂化烟气转硫脱氮和助燃三功能催化剂FP-DSN的工业应用 总被引:2,自引:0,他引:2
烟气转硫、脱氮和助燃三功能新型催化剂FP DSN在中国石油天然气股份有限公司锦西石化分公司 1.4Mt/a重油催化裂化装置的工业应用表明 ,此种以La ,Ce ,Sr和Co等元素的氧化物或复合物为活性组分的催化剂 ,在其用量为催化裂化催化剂总藏量的 1%~ 2 %的情况下 ,有较强的脱除烟气中SOx 和NOx 的能力 ,大大减轻了烟气对反应器壁的腐蚀 ,减少了污染气体的排放 ,同时有CO助燃效果 ,装置可不使用其他专门的助燃剂。应用试验时 ,再生器烟气中SOx 的平均脱除率达 72 .85 %,NOx 的平均脱除率达 85 .90 %。该催化剂的使用对催化裂化产品的分布和质量无明显影响。该剂的应用为装置带来了可观的经济效益。 相似文献