Effect of fluorinated silicate glass passivation layer on electrical characteristics and dielectric reliabilities for the HfO2/SiON gate stacked nMOSFET

The superior characteristics of the fluorinated hafnium oxide/oxynitride (HfO₂/SiON) gate dielectric are investigated comprehensively. Fluorine is incorporated into the gate dielectric through fluorinated silicate glass (FSG) passivation layer to form fluorinated HfO₂/SiON dielectric. Fluorine incorporation has been proven to eliminate both bulk and interface trap densities due to Hf-F and Si-F bonds formation, which can strongly reduce trap generation as well as trap-assisted tunneling during subsequently constant voltage stress, and results in improved electrical characteristics and dielectric reliabilities. The results clearly indicate that the fluorinated HfO₂/SiON gate dielectric using FSG passivation layer becomes a feasible technology for future ultrathin gate dielectrics applications.     

透紫玻璃与蓝宝石的热压粘结工艺研究

透射式GaN阴极组件是GaN紫外日盲型探测器的最关键部件之一。介绍了制备透射式GaN阴极组件的工艺难点,主要报道了透紫玻璃与蓝宝石的热压粘结工艺的原理和研制过程,并着重分析了热压粘结工艺中出现的问题,同时提出了拟定的解决方案。     

Er/Yb共掺发光玻璃对硅光电池光谱利用率的影响

提出采用Er/Yb共掺的硼硅酸盐发光玻璃来提高硅光电池的太阳光谱利用率。分别测量了发光玻璃的透射光谱和在980nm红外光激发下的上转换发光。发现当利用氙灯模拟太阳光时,直接掺杂Er/Yb氧化物的发光玻璃使得硅光电池具有更高的光谱利用率。与非掺杂玻璃相比,其光谱利用率提高了1%。     

溶胶-凝胶法制备硼硅玻璃掺杂BST陶瓷的研究

研究了Si-B-O系玻璃掺杂对钛酸锶钡(BST)陶瓷的相结构和介电性能的影响.实验结果表明,当x(SiO_2)＞10%时,Si-B-O系玻璃掺杂BST陶瓷易出现杂相,即Ba_2TiSi_2O_8相.x(SiO_2)≤10%,Si-B-O系玻璃掺杂BST陶瓷粉体的相结构为立方钙钛矿相结构,其合成温度大于等于600 ℃,不存在第二相. Si-B-O系玻璃掺杂BST陶瓷的烧结温度低于传统工艺.Si-B-O系玻璃掺杂BST陶瓷的显微结构呈细晶结构(晶粒尺寸＜1 μm).随玻璃含量的增加,Si-B-O系玻璃掺杂BST陶瓷介电常数ε降低,介电峰变低,平坦,峰形宽化,介电损耗降低,居里温度TC向低温移动.     

玻璃基底和表面粗糙度在氮化硅薄膜椭偏测量中的影响

在光谱椭偏测量中,玻璃基底的背反射会给测量结果造成较大影响。针对平板显示器件玻璃基底表面氮化硅镀膜进行了椭偏测量和模型计算。采用相干背反射模型“空气基底空气”计算并拟合得到与厂商数据符合较好的玻璃基底折射率。对氮化硅薄膜采用Tauc Lorentz色散模型进行了分析拟合,讨论了薄膜与基底界面层、表面粗糙度对光学常数及模型拟合的影响,表明在薄膜与基底间晶格失配的情况下,界面层的引入对改善拟合度是必要的。给出了薄膜体系的光学常数、薄膜结构的分析结果。     

基于注射器吸附的玻璃幕墙清洗机器人设计

为解决玻璃幕墙人工清洗工作量大,危险性高的问题,设计了这一玻璃幕墙清洗机器人。系统以STC12C5A60S2单片机为主控制器,通过控制42HS4817A4型号步进电机带动微型直线滑台,实现机器人玻璃面上下机械运动,最大运行速度约60mm/s,采用12V减速直流电机,5V马达,20ml量程注射器,PJYS40-15-N型号真空吸盘的组合,实现机器人脚吸附和脱离玻璃面,多次试验,稳定吸附结果高达95%以上。采用PT2262和PT2272无线发射接收器,实现无线遥控操作。试验结果表明,该系统制作成本低, 轻量化设计灵活性好,具有一定的实用价值。     

频率选择表面在节能玻璃中的应用研究

在现代建筑设计中,节能玻璃得到了越来越广泛的应用。节能玻璃表面镀上了一层阻性金属氧化物,这层金属氧化物能有效地屏蔽射向室内的红外线,同时将室内物体所辐射的长波保留在室内,能够起到很好的隔热作用并提高能量利用率,从而使建筑物冬暖夏凉。需要指出的是,阻性金属氧化物表面对移动信号、GPS等电磁波的衰减高达30dB。通过将金属氧化物层刻蚀出具有带通特性的频率选择表面（Frequency Selective Surface,FSS）单元,可以保证在阻隔红外线能量的情况下大大提高微波射频信号的透波率。本文在节能玻璃上设计了3种不同的带通FSS,与以往文献提出的十字形FSS相比,能够在保证900～2000MHz频段信号同等透波率的情况下,隔热效果更好。     

应变液晶调光显示有机玻璃制品的制备及其应用

为将应变液晶调光显示应用于小尺寸显示领域,特选用比重较小、机械强度较高的有机玻璃材料来制作样品。制作基于应变液晶原理。在样品制备时,采用卡通图案遮挡部分区域,进行初次强光较短时间曝光,得到有卡通图案的制品,遮光处形成透明状态,无遮光部位处于散射状态;撤掉掩膜再进行第二次弱光较长时间曝光,原透明处变弱散射半透明,原散射处充分固化变强散射部位。样品未受外力时,无遮光部分透过率低,遮光部分透过率高,形成显示;对制品施加剪切应力,整个制品变成半透明状态,遮光部分和无遮光部分透过率均较高,显示图案消隐。有机玻璃样品比玻璃样品更适合制造玩具和旅游纪念章、会展吉祥物等小商品,具有广泛的应用前景。     

硫系玻璃光波导研究进展

硫系玻璃具有超高的非线性折射率、超快的非线性响应、超低的双光子吸收和独特的光敏特性等品质,成为一种新型全光信号处理的理想材料。简介了硫系玻璃材料的基本特性,回顾了硫系玻璃光波导研究历程及其在非线性方面的应用,并对其发展前景进行了展望。     

掺Er3 铅卤碲酸盐玻璃的光谱特性研究

分别以TeO2-PbCl2、ZnO-Na2O和TeO2-ZnO-Na2O为基质制备了掺Er3+铅卤碲酸盐(EDTPb)玻璃和碲酸盐(EDT)玻璃.差热分析(DTA)结果表明,EDTPb玻璃具有更高的热稳定性.应用McCum-ber原理计算的结果表明4 mol%PbCl2的加入可使EDT玻璃在1.53 μm处的发射截面提高6.7%,其峰值达8.79×10-21cm2,而有效宽度从65.8 nm增加到72.3 nm,因此,PbCl2的加入明显改善了玻璃的发光特性.同时应用Judd-Ofelt理论对2种玻璃中Er3+的自发跃迁几率、荧光分支比和能级寿命等光谱特性进行了计算.